中古 NOVELLUS CONCEPT 2 #9212229 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2は半導体産業のエッチングに使用される高密度プラズマ炉です。シングルチャンバー型の垂直型リアクターで、詳細なプロセス制御装置を備えたモジュール設計で、ウェーハの高精度エッチングが可能です。このシステムは、真空チャンバー、ガス供給ユニット、RF（無線周波数）電源システム、およびプロセスモニタリングマシンで構築されています。このプロセスは、内部の真空環境を維持するために密閉絶縁された金属チャンバー内で行われます。真空はエッチング処理に必要な条件であり、エッチング処理を成功させるための基本的な要件の1つです。ガス分子、特に酸素と水素は、ウェーハ表面から材料をエッチングするためのエッチング剤および還元剤として使用されます。このプロセスの成功には、ガスの流れとプラズマの形成を正確に制御することが不可欠です。この原子炉は、13。56MHzのRF周波数と最大1500Wのパワーレベルを利用して、グロー放電を生成し、反応種を形成します。工具のRFパワー、ガスフロー、動作温度は、同社の高度な制御資産によって正確に制御されます。RF電源モデルは、RFジェネレータの駆動を担当します。入力電力を精密に制御し、発電機に正確に電力を供給します。ガス供給装置は、ガスの流れを正確に制御し、システム内のエッチングガスの正確な組成制御を可能にします。ユニットの温度は、それぞれサーマルセンサーとサーマルコントローラを介して監視および制御されます。プロセスモニタリングマシンは、エッチング処理中のウェーハの監視を担当します。このツールを使用すると、エッチング工程をリアルタイムで観察することができ、オペレータはより高い収率とより高い収率のためにプロセスを最適化することができます。CONCEPT 2は、半導体業界の厳しい要求に応えるために設計された汎用性と信頼性の高いエッチング資産です。モジュール性と精密なプロセス制御により、業界最高のエッチング品質を保証します。同社はお客様に完全なメンテナンスとテクニカルサポートソリューションを提供し、高性能エッチングモデルを安心してインストールして操作できます。