中古 NOVELLUS CONCEPT 2 #9206050 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2は、先進的な薄膜加工用に設計された高性能プラズマ強化化学蒸着炉（PECVD）です。CONCEPT 2リアクターは、特許取得済みのスパッタ強化シャワーヘッド設計を採用し、大型基板上に極めて均一な薄膜蒸着を実現しています。スパッタ強化されたシャワーヘッド設計により、従来のシャワーヘッドよりも厚いフィルムの成膜が可能になります。NOVELLUS CONCEPT 2リアクターは、高いスループットで厚膜の堆積を可能にする大容量のプロセスチャンバーを備えています。CONCEPT 2リアクターは、プロセス・チャネルを介して反応チャンバに接続された基板受容部を備えたメインチャンバーを含む2ゾーン・システムです。プロセスチャネルは、反応室から基板受容部へのプロセスガスの連続的な流れを提供します。NOVELLUS CONCEPT 2リアクターには、反応室内の基板やプロセスガスにエネルギーを供給する高周波、デュアル周波数のRFソースが装備されています。デュアル周波数RFソースは、異なる薄膜プロセスのプラズマパラメータを調整する機能を提供します。CONCEPT 2リアクターは高度に構成可能であり、特定のプロセスに合わせて調整することができます。直径300mmまでのウェーハ加工が可能で、3D-IC用途に最適です。この原子炉は、プロセスガスとRFパワーレベルの濃度を制御する柔軟性を提供します。フィードバック制御を備えた特許取得済みのガスマニホールドシステムにより、反応室内のガス流量とガス滞留時間を迅速かつ正確に調整できます。NOVELLUS CONCEPT 2原子炉は、現代のIC技術のニーズの高まりに対応するよう設計されています。その高いスループットと柔軟性、豊富なアクセサリーのラインと組み合わせることで、さまざまな薄膜アプリケーションにとって魅力的な選択肢となります。CONCEPT 2は、高度なプロセス性能を最適化する独自の機能を提供し、高性能デバイスや回路を優れた結果で製造することができます。NOVELLUS CONCEPT 2は、半導体用途に小さなフットプリントを備えた信頼性の高い費用対効果の高いツールです。精密プロセス制御、高品質の成膜、プロセスの均一性を備えた高度な自動化を提供します。高度な計測と診断機能により、プロセスの安定性と効率を最大限に高めます。さらに、低コストのメンテナンスと長寿命により、長期プロジェクトにとって魅力的な選択肢となります。CONCEPT 2は、先進的な薄膜成膜のための強力なツールであり、今日の半導体産業における産業用製造に最適です。