中古 NOVELLUS CONCEPT 2 #9188218 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2は、優れた設備性能を実現するために設計されたプラズマ強化化学蒸着炉（PECVD）です。材料、銅、クロム、アルミニウムなどの幅広い成膜に適した高度な自動化ツールです。CONCEPT 2には、高効率で制御可能でクリーンな蒸着プロセスを生成する複数のアクティブゾーンソースが装備されています。NOVELLUS CONCEPT 2の性能を競合製品とは別に設定する主な特徴は、プロセスの再現性と均一性が非常に高いことです。これは、常に高いプロセス精度を維持するために正確に調整された2つの独立して動作するTEMセルベースのソースを使用することによって実現されます。このシステムはベースマウントされており、ユーザーが特定のアプリケーション要件に対応するための機能と機能を追加できるアップグレード可能なプラットフォームです。コンパクトで人間工学に基づいたデザインで、限られたスペースでの設置と操作が可能です。CONCEPT 2は、シングルウェーハからハイスループット生産アプリケーションまで、幅広い先進的なアプリケーションをサポートします。このシステムには、フィードバック制御と監視装置が組み込まれており、再現性と高い歩留まりを保証します。自動制御および監視装置は沈殿率、温度の変化およびガスの流れを監視し、測定します；業界最高レベルのプロセス性能とパラメーター制御を提供します。NOVELLUS独自技術であるAdvanced Gas Distribution （AGD）技術を搭載し、基板表面への反応ガスの送達を正確に制御し、従来のガス送達システムよりも均一性と制御を可能にします。NOVELLUS CONCEPT 2は、低熱予算の堆積を利用して、均一で反復可能な結果を提供することができます。これは、AGD技術によりプロセス制御を強化したCONCEPT 2と、精密成膜速度制御を組み合わせることで、マスクエッジオーバーコートを回避するための驚異的な精度と再現性を備え、最小限のトップクランプシャドーイングで優れたアスペクト比の充填を実現することができます。NOVELLUS CONCEPT 2は、競合製品に比べて優れた性能と正確な制御を提供する、次世代の完全自動化ツールです。自動化されたプロセス監視、制御、フィードバックシステムにより、CONCEPT 2は高度な蒸着アプリケーションに最適で、優れた再現性と高い歩留まりを提供します。