中古 NOVELLUS CONCEPT 2 #9188216 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2は、化学蒸着（CVD）を利用して材料を基板の特定の領域に整列・堆積させる汎用性の高い原子炉です。装置は沈殿物を作成するためにシランおよびトリメチルアミンのような専門ガスの範囲を、利用します。ユーザーは、原子炉の圧力、温度、ガスの流れを調整して、所望の効果を生み出すことができます。幅広い研究開発アプリケーションに最適です。この原子炉が生産する製品は、非常に均一であり、大規模な生産および工業用途に使用することができます。ナノワイヤや量子ドット材料の製造に特に役立ちます。CONCEPT 2は、メインチャンバー、ローダー/アンローダー、コンピュータ、制御インタフェースで構成されています。円筒形のメインチャンバーは、通常300-500ミリバー圧力と300-500摂氏温度で動作します。原子炉はN2で定期的にパージされ、汚染のない環境を確保します。様々な堆積方法のためのレシピの広い範囲をプログラムすることができます。システムのローダー/アンローダー部品には、原子炉との間で基板を輸送するロボットアームが装備されています。コンピュータユニットは、機械の他のコンポーネントとシームレスに統合されています。制御インターフェイスは、リアルタイムのフィードバックとユーザーフレンドリーなプログラミングコマンドを可能にし、ユーザーはパラメータを微調整し、即座に変更することができます。この高度なプラズマ制御ツールを使用すると、チャンバー内のプラズマパラメータの電力と周波数を調整して最適な蒸着速度を得ることができます。この資産には、効率的な冷却を確保し、その寿命を最大化するための革新的に設計されたサーマルモデルも含まれています。NOVELLUS CONCEPT 2は、幅広い用途に対応したパワフルで汎用性の高い原子炉です。量子デバイスのナノスケール蒸着から部品の大規模生産まで、幅広い材料に精度と高品質の結果を提供します。堅牢な設計、最適な性能、およびハイエンド制御装置を備えたCONCEPT 2は、多くの産業用オペレーションに最適です。