中古 NOVELLUS CONCEPT 2 #9188214 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2は、マイクロエレクトロニクスデバイスの高品質な生産に革新的なアプローチをメーカーに提供する連続シングルウェーハリアクターです。これは、沈着、酸化、窒化、エッチング操作でソリューションを提供するユニークなシステムであり、最大スループットで前例のない均一性を可能にします。CONCEPT 2リアクターは、真空チャンバー、RFプラズマ源、誘導結合プラズマ発生器、独自の固体ウエハホルダー、および一連のプロセスモジュールで構成されています。チャンバーは周囲の電子機器から熱的に絶縁されていますが、内部のライトパイプとシャッターシステムにより、原子炉内のプロセスを視覚化できます。RFプラズマ源は、NOVELLUS CONCEPT 2の中心であり、主に酸化物、窒化物、またはエッチング過程のための3レベルの設計で構成されています。ウェーハ全体のイオンエネルギーとフラックスの最適なバランスを維持し、層ごとの蒸着制御と優れた均一性を実現します。オンボードの誘導結合プラズマ源は、エッチングまたは洗浄操作のための異なるラジカル種を生成することができます。ソリッドステートウェーハホルダーはCONCEPT 2の重要なコンポーネントであり、リアクタとプロセスモジュール間でウェーハを転送するための迅速かつ信頼性の高いメカニズムを提供します。このホルダーは、均一でない荷重条件を補償するために、垂直方向と水平方向の両方の正確なウェーハ制御を可能にします。NOVELLUS CONCEPT 2リアクターには、パフォーマンスと均一性を高めるように設計された高度なプロセスモジュールも含まれています。酸化プロセスが提供できない豊富なTDDとBTIエピタキシャル成長をタップする低温窒化モジュール。高精度なエッチング/クリーニング操作のための高度なエッチングモジュールです。これは、蒸着/エッチングチャンバー内の複数の変数を機械内から制御する機能と相まっています。これらの機能により、デバイス構造と微細形状寸法に対する比類のない均一性と完全な制御が可能になります。CONCEPT 2は容易にアップグレード可能であり、お客様は単一の原子炉で酸化物、窒化物または金属プロセスを切り替えることができます。この柔軟性により、従来よりも高品質で低コストの幅広いマイクロエレクトロニクスデバイスの生産が可能になります。