中古 NOVELLUS CONCEPT 2 #9186060 を販売中
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ID: 9186060
ウェーハサイズ: 8"
CVD System, 8"
Sequel chamber
Modified reduced foot print frame
Missing parts:
Meter, DC, press, digital, leak back
Switch / Gauge photohelic
Gas lines plumbing (ALL)
MFC Cable (ALL)
Gas box cabling (ALL)
Numerous system cable (99% Gone)
Lower lift / Rotate assembly (Spindle)
Top plate: Except (4) panels
Intact items or present items:
Vacuum general adapter AC-2
EUROTHERM Heater controller
Heater feed through
RF Isolated TC (Filter)
Valve, throttle, vacuum control
Valve, gate, high vacuum
Upper spindle assembly
Heater block
(5) Shower heads
Fork plate / Ceramic forks
MYKROLIS MFC Gas panel (No plumbing)
Top plate: Lift assembly
Local power box (LPB)
Mega pac: MP5-95532
IOC 27-10318-00 Rev B
Shunt cap (For tune)
Temporary / Pressure control box.
NOVELLUS CONCEPT 2は、半導体業界の厳しいニーズに応えるために設計された単一のウェハバッチ化学蒸着（CVD）炉です。CONCEPT 2リアクターは、より高い収率と製品コストを達成するために、より高いスループット速度で高度なプロセスを実行することができます。NOVELLUS CONCEPT 2リアクターは、タングステンやTi/TiN、 SiOC、 BCBなどのシリコンフィルムなどの蒸着プロセス用に設計されています。原子炉は歩留まりを損なうことなく優れた性能を発揮します。それはよりよいプロセス部屋の状態を制御するように設計されている強力な電気動的頭部が付いている独特な設計構成を特色にします。それはよりよい均等性および減らされた電磁干渉のための多数の内部電極が装備されています。CONCEPT 2リアクターは、搬送ロボットを使用して他の堆積工具に簡単に接続することもできます。NOVELLUS CONCEPT 2は、直径6インチまたは直径8インチで提供され、シングルウェーハ、バッチ、マルチゾーン、マルチチャンバー処理など、さまざまなプロセスオプションを提供します。これは、正確なプロセス制御と安定性のためのリアルタイムのマルチセグメント温度制御システムを利用しています。このシステムは、最適な動作のためにシリアル高性能の組込みプロセッサを搭載しています。CONCEPT 2は、M4インジェクタによる連続セラミックガス注入とオンデマンド投与の両方をサポートします。また、吸気バルブや排気バルブに取り付けることができ、不要な熱負荷を低減し、クリーンでほこりのないプロセス環境を提供することができます。NOVELLUS CONCEPT 2は、パワフルで直感的なソフトウェアを使用して、新しいシステムや既存のシステムに簡単に統合できます。プロセスゲインとパラメータは簡単に設定および監視され、リアルタイムプロセスデータを使用して潜在的な問題を検出し、歩留まりを最大化できます。全体として、CONCEPT 2は、高度なプロセスのための効率的で高性能なCVD炉です。優れた精度と性能で設計されており、直感的なソフトウェアと高度なプロセス制御により、高い歩留まりと製品コストの削減に最適です。
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