中古 NOVELLUS CONCEPT 2 #9167960 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2は、再入室用に最適化された高性能エッチングおよび蒸着炉です。この装置は、高度なリソグラフィ用途のエッチングおよび蒸着プロセスを強化します。それは優秀な基質の均一性、高められたプロセス柔軟性および優秀なプロセス制御を提供します。CONCEPT 2は、最適化された体積平均負荷バランスを採用し、システム内の負荷による圧力降下量を低減します。負荷バランスは単位の圧力から独立しており、基板全体で例外的な均一性をもたらします。さらに、プロセスの柔軟性に優れているため、プロセスの迅速な変更やウェーハのリツーリングが可能です。プロセスガスシステムをリロードすることなく、エッチングおよび蒸着プロセスに多種多様なガスを使用できます。このレベルの柔軟性により、複数のチャンバ構成を使用できます。NOVELLUS CONCEPT 2は、蒸着にRFパワー技術を利用しています。このマシンは、基板全体の蒸着速度に対して優れた制御性を提供します。RF力を変えることによって、沈殿率は変化する沈殿率の条件のために正確に調節することができます。また、プロセス性能の向上、ウェーハの均一性の向上、およびスループットの向上のために、従来よりも低い蒸着速度を実現します。CONCEPT 2は、プロセスのサイクル時間を短縮する革新的なロードロック設計を提供します。また、ICP （Inductively Coupled Plasma）ソース設計を採用しており、プロセスの均一性を飛躍的に向上させることができます。このツールはまた、スパッタの均一性を高めながら振動レベルを低減することができる新しいモータ設計と駆動アーキテクチャを利用しています。要するに、NOVELLUS CONCEPT 2リアクターは、再入室用に設計された高度で高性能なエッチングおよび蒸着資産です。それは優秀な基質の均一性、プロセス柔軟性、プロセス制御およびスループットを提供します。これは、従来のプロセス技術と高度なプロセス技術の両方で使用するために最適化されており、現代のエッチングおよび蒸着アプリケーションに優れたプラットフォームを提供します。