中古 NOVELLUS CONCEPT 2 #9113843 を販売中
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NOVELLUS CONCEPT 2は、主に材料の層を様々な基板に堆積させるために使用される化学蒸着（CVD）炉です。金属および半導体フィルムの蒸着のための低温CVDプロセス、および高温CVDプロセスを実行することができます。また、プロセス監視および制御システムが装備されています。CONCEPT 2は、水平に取り付けられた2つの水晶シャワーヘッドと3つの蒸着源を使用して、材料の層を基板に堆積させます。水晶シャワーヘッドは、電気発熱体を使用して加熱される環状反射チャンバーに囲まれています。基板は、ガス燃焼赤外線ランプとエンクロージャを使用して加熱される基板ホルダーに配置されています。蒸着に使用されるガスは、マスフローコントローラと自動フローコントローラを使用して蒸着室に計測、混合、納入されます。NOVELLUS CONCEPT 2には、CVDプロセスを監視するために設計された幅広い診断機能が搭載されています。様々な赤外線検出器、熱電対、水晶マイクロバランス、水晶振動子が含まれています。これらの診断により、CVD反応に存在する化学種を迅速に同定し、沈殿膜の均一性を確保するためにプロセスパラメータを調整することができます。また、堆積プロセスの制御とプロセス履歴の監視を可能にするコンピュータシステムを搭載しています。ユーザーはリアルタイムでプロセスパラメータを変更できるため、必要に応じて調整することができます。システムはまた、ユーザーが入力し、自動プログラムを実行することを可能にするさまざまなレシピにアクセスすることができます。NOVELLUS CONCEPT 2は、様々な用途に対応した幅広い精密沈殿物を製造できる汎用性の高いツールです。半導体や情報技術の製造に欠かせない部品であり、様々な用途の材料を均一に成膜することができます。
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