中古 NOVELLUS CONCEPT 2 #9100803 を販売中
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ID: 9100803
ウェーハサイズ: 6"
Metal sputtering system, 6"
Transport Module
(2) PVD Modules
Power Module
Cassette Module
CTI 8510 Compressor.
NOVELLUS CONCEPT 2は、半導体製造施設で使用するために設計された高度な化学蒸着（CVD）炉です。これは、NOVELLUS Concept 3の前駆体であり、二重誘電体トロイダル源の使用を導入した最初のプラットフォームの1つです。特に金属CVDや選択的成膜などの用途や、リンや窒化ケイ素などの低温プロセスに適しています。CONCEPT 2は高い生産性、プロセスの均一性、および装置の信頼性を提供するように設計されているインラインCVDの炉です。このシステムは、二重誘電トロイド源を利用して、効果的な基板面積を増加させ、原子炉内の発生粒子レベルを低減します。この機能により、性能を犠牲にすることなく、基板ウェーハの総数を増加させ、スループットを向上させることができます。熱的に耐久の水晶部屋は1000°C。までの温度に達することの潜在性の優秀な温度調整を、提供します。また、このチャンバーは複数のプロセスサイクルを効果的に維持することが証明されており、再処理やパッケージ化を必要とせずに複数の実行を可能にします。NOVELLUS CONCEPT 2は、その2次元パルス電源を利用して、さまざまなプロセスレシピをサポートしています。この技術は、個々の基板の要求に合わせて、完全に最適化されたプロセスレシピを可能にします。これにより、ユーザーはエッチングプロファイル、蒸着均一性、線幅制御、ウェーハ全体の温度プロファイルを制御する独自の機能を提供します。さらに、CONCEPT 2の堅牢な修理および堆積オプションにより、高精度でカスタマイズ可能なデバイスコンポーネントを実現します。NOVELLUS CONCEPT 2を使用すると、ユーザーは自動ウェーハ転送ユニットの恩恵を受けることができます。これにより、すべての基板ウェーハが、精密な機械的搬送を介して複数のリアクタを介して揃えられ、中央に配置され、実証済みの非接触コリメート型ビームステアリング技術を使用して、チャンバ間でウェーハを転送することができます。CONCEPT 2は非常に印象的な化学蒸着炉です。二重誘電体トロイダル源、堅牢な修理および蒸着能力、2次元パルス電源、および自動ウェーハ転送機により、ユーザーはより高い生産性、均一性、およびツールの信頼性の恩恵を受けることができます。
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