中古 NOVELLUS CONCEPT 2 #9071449 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2リアクターは、主に半導体ウェーハ加工用の二酸化ケイ素フィルムの成膜に使用されるCVDリアクターです。これは、酸素とシラン、別名シロキサンからなるガス混合物のタイプを使用して、単純な堆積プロセスです。ガス混合物はガス供給からチャンバーに入り、反応ゾーンを流れます。ここで、シランガスは、反応ゾーンを通過した電流によって発生する熱によって分解されます。その後、ウエハ表面に酸素と二酸化ケイ素の副生成物が堆積する。CONCEPT 2リアクターは、ガス/ソリッドインターフェイスを横切って電場を生成する直流循環波形により、ウェーハ表面での反応を加速する直接蒸着を提供します。結果として生じる堆積は速い速度で起こり、ウェーハ全体で均一になります。NOVELLUS CONCEPT 2はまた、チャンバー内の温度、圧力、ガスの流れを独立して制御します。CONCEPT 2リアクターは、断熱石英反応室、電気化学発熱体、排気装置、真空ポンプ、ガス供給システム、制御監視システムで構成されています。電気化学発熱体は反応室の加熱に反応ゾーンで発生する電流を利用し、排気ユニットは生成された副産物を除去する働きをします。真空ポンプは、反応のためにチャンバー内で必要な劣化圧力を供給し、ガス供給機は必要なガス混合物を供給します。NOVELLUS CONCEPT 2リアクターは、他のCVDプロセスに比べていくつかの利点があります。まず、メンテナンスを最小限に抑え、低温・低圧での運転が可能です。さらに、直流周期波形生成により、より高速な蒸着速度を実現し、ウェーハ全体の均一性を向上させます。最後に、比較的低消費電力であり、メンテナンス要件の低さと相まって、産業用途において非常に実行可能な選択肢となります。