中古 NOVELLUS CONCEPT 2 #9071448 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2
製造業者
NOVELLUS
モデル
CONCEPT 2
ID: 9071448
ウェーハサイズ: 12"
Assembly, 12".
NOVELLUS CONCEPT 2は、さまざまな材料の薄い層で表面をコーティングするために使用される化学蒸着(CVD)装置です。CONCEPT 2は、多くの場合、銅、金、チタン、アルミニウムなどの半導体基板やその他の相互接続上の薄膜の層を作成するために使用されます。NOVELLUS CONCEPT 2は、非常に高い蒸着速度と精密制御を備えています。それはフィルムが一貫して均等に沈殿することを保障するのを助ける革新的な平板の感受性装置の設計を特色にします。この設計により、差動熱膨張による微細な薄膜層への損傷の可能性も低減します。CONCEPT 2システムは、蒸着速度を迅速かつ正確に向上させることができます。これは、フィルムの成長中に基板層の均一性を維持するために働く2つのオンボードシェーカーを備えています。また、排気を加熱して排気ガスを排出し、基板の汚染を低減することができます。NOVELLUS CONCEPT 2もモジュラー性が高く、3つの基板熱取得システムを追加して拡張できるため、複雑な成長プロセスに最適です。モジュール設計により、部品の交換や必要に応じてアップグレードが容易に行えるため、CONCEPT 2は非常に使いやすくなります。NOVELLUS CONCEPT 2にはクリーンルーム対応の設計が施されており、必要な部品はすべてISO-14644に準拠しています。それは3つの独立したチャンバーを持っており、それらはすべて圧力と温度のために継続的に監視されています。これにより、ユーザーに最大限の柔軟性を提供し、一貫性のある最高品質の映画を作成することができます。CONCEPT 2は、高品質の薄膜を作成するための信頼性の高いCVDマシンをお探しの方に最適です。それは非常にモジュラーで汎用性の高いツールであり、さまざまな特定のアプリケーションに簡単に適応できます。NOVELLUS CONCEPT 2は、精密制御と高い蒸着速度により、あらゆるタイプの薄膜アプリケーションに最適です。
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