中古 NOVELLUS CONCEPT 2 #9069052 を販売中
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ID: 9069052
ウェーハサイズ: 8"
CVD system, 8"
Includes:
Wafer shape: Flat
SMIF Interface: No
Aligner: No
System main power: 3-Ph, 5-wires, 208 V
Module A: Standard
Process A: Sio2
Module B: Standard
Process B: Sio2
TM Throttle valve: TYLAN
TM Robot type: MTR5
TM Robot blade: Ceramic
Wafer sensor: Existence
Loadlock baratro model: 275 Mini convectron
TM Baratron model: Tylan 100 Torr
EMO: Turn to release
DLCM IOC Version: 4.0
Module controller: MC1 P100
Front monitor: Side
Module A:
Chamber type: Standard
Module controller: MC1
Process type: SIO2/SIN
Manometer: Mykrolis, 10 Torr
Manometer: Tylan 1000 Torr
Process clean type: In-Situ
HF Generator: OEM-28
Heater block type: 6-Station
Endpoint option: N/A
Spindle top plate type: (1) Piece
Spindle type: Ferroflo seal
Throttle valve: Tylan
RF Matcher: AMU2-1
IOC Version:
IOC0: 4.1
IOC1: 4.1
IOC2: N/A
LF Generator: PL-2HF
Foreline gate valve: VAT
Chamber gas box:
MFC # | Gas name | MFC size | MFC model
MFC B, N2, 10 SLM, Brooks 5964
MFC A, N2O, 20 SLM, Brooks 5964
MFC 9, C3F8, 2 SLM, Brooks 5964
MFC 8, O2, 3 SLM, Brooks 5964
MFC 6, NH3, 10 SLM, Brooks 5964
MFC 2, N2, 5 SLM, Brooks 5964
MFC 1, SIH4, 1 SLM, Unit UFC 8160
Module B:
Chamber type: Standard
Module controller: MC1
Process type: SIO2/SIN
Manometer: Mykrolis, 10 Torr
Manometer: Tylan 1000 Torr
Process clean type: In-Situ
HF Generator: OEM-28
Heater block type: 6-Station
Endpoint option: N/A
Spindle top plate type: (1) Piece
Spindle type: Ferroflo seal
Throttle valve: Tylan
RF Matcher: AMU2-1
IOC Version:
IOC0: 4.1
IOC1: 4.1
IOC2: N/A
LF Generator: PL-2HF
Foreline gate valve: VAT
Chamber gas box:
MFC # | Gas name | MFC size | MFC model
MFC B, N2, 10 SLM, Brooks 5964
MFC A, N2O, 20 SLM, Brooks 5964
MFC 9, C3F8, 2 SLM, Brooks 5964
MFC 8, O2, 3 SLM, Brooks 5964
MFC 6, NH3, 10 SLM, Brooks 5964
MFC 2, N2, 5 SLM, Brooks 5964
MFC 1, SIH4, 1 SLM, Unit UFC 8160.
NOVELLUS CONCEPT 2リアクターは、ALDプラットフォームで高い蒸着率、高品質のフィルム、優れた生産性と信頼性を提供するために設計された画期的なプロセスを備えた化学蒸着（CVD）装置です。CONCEPT 2リアクターの主な特徴は、以下のとおりです。高い沈着率およびよいフィルム質；堆積環境を正確に制御する能力、トータルプロセス制御を可能にします。高度の基質の温度調整および高いスループット時間を可能にする均一な暖房；顕著な均質性および均等性。NOVELLUS CONCEPT 2リアクターは、チャンバーサイズが小さいため蒸着率が非常に高く、ポリマー、金属酸化物、金属など幅広い材料の精密蒸着を可能にする優れたレシピ制御システムを備えています。蒸着プロセスは、原料であるガスの導入から始まります。このガスは、基板がある反応室に供給されます。その後、反応室は加圧され、所望の温度に加熱されます。これにより、ソース材料を蒸発させてから真空によって持ち去ることができます。堆積プロセスは、高度なプロセス制御ユニットによって調整されます。この機械は温度、圧力、ガスの流れ等のような反作用変数を監視し、望ましい結果を達成するためにそれらを調節できます。基板の均一な加熱により、薄膜の均一な成膜を実現します。CONCEPT 2リアクターは、チャンバー内の優れた熱均一性を提供し、反応プロセス全体で温度が均一であることを保証します。これにより、均質な成長とフィルム特性の向上が保証されます。NOVELLUS CONCEPT 2リアクターには、正確なフィルム均一チューニングを可能にする強力なポストプロセスツールも装備されています。このアセットにより、薄膜形成を最適化し、製品層が製品要件を満たしていることを確認できます。このモデルはまた、ユーザーが各堆積プロセスのプロセスを経ることなく迅速にレシピをテストすることができます。結論として、CONCEPT 2リアクターは、高い蒸着速度、高品質のフィルム、優れた生産性と信頼性を原子層蒸着（ALD）プラットフォームで提供するために設計された画期的なCVD装置です。チャンバーサイズが小さく、優れたレシピ制御システムによる高い蒸着率を有し、チャンバー内で優れた熱均一性を提供し、均質な成長とフィルム特性の向上を保証します。また、精密な膜均一チューニングを可能にする強力なポストプロセスユニットを備えており、薄膜成膜に最適な機械です。
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