中古 NOVELLUS CONCEPT 2 #293622194 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2は、高度な化学蒸着（CVD）炉で、電力、温度、および時間速度条件の極端な条件で動作するように設計されています。この装置は、超薄型金属や誘電体材料の層をフィルム成膜の均一性と精密な制御を提供し、高度な光学、電子、または半導体アプリケーションに最適です。CONCEPT 2のユニークな設計には、ラジアルおよびリニアフローリアクターの組み合わせ、およびコールドウォール構造、および均一性と耐久性のための高度なサセプター設計が含まれています。放射状フローリアクターとサセプターは、熱およびフローエネルギーの効率的な利用のために設計されており、冷却時間を短縮するのに役立ちます。これにより基板温度を最大化し、サイクルタイムを最小限に抑え、優れた成膜均一性を実現します。NOVELLUS CONCEPT 2には、基板温度を急速に下げることができる高度なウェハ冷却システムも搭載されています。また、一体型の温度・流量制御装置を採用し、プロセス温度・流量の安定性を確保しています。これにより、原子炉の寿命を通じて動的で一貫した反復可能なプロセス結果が保証されます。高度な計測ツールは、すべての重要なプロセスパラメータを監視するのに役立ち、層厚、ドーピングレベル、エッチング速度、ウェーハ形状、接触電位などの高精度な測定を提供します。このアセットは、蒸着の均一性、ドレスレート、その他の基材パラメータを継続的に監視することにより、高いスループットと低サイクルタイムを保証します。CONCEPT 2は、最も要求の厳しいアプリケーションにモジュール性と拡張性を提供する革新的なプラットフォームアーキテクチャを備えています。幅広い機能と高度な機能を備えたこのモデルは、優れたフィルム均一性、レイヤーの精密な制御、サイクルタイムの短縮を必要とするアプリケーションに最適です。NOVELLUS CONCEPT 2は、マイクロエレクトロニクス、高度な光学、バイオメディカル、またはコンシューマーアプリケーションで使用されるかどうかにかかわらず、卓越したレベルのプロセス柔軟性と精度を提供します。