中古 NOVELLUS CONCEPT 2 #152911 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2リアクターは、高度な半導体デバイス製造のためのハイエンドのプラズマエッチング装置です。このシステムは、幅広い材料をエッチングするためのさまざまなエッチングプロセスを提供します。従来のエッチングシステムと比較して、プロセス制御と均一性を向上させます。CONCEPT 2リアクターは多機能リアクターで、幅広い種類のガスをエッチングすることができます。プロセスを自動的に最適化するインテリジェントプロセスコントロール（IPC）を搭載し、同時にエッチング化学と基板温度を監視します。高度な電気耐性機能は、各レシピのセットアップ後に均一性を回復します。さらに、大容量の基板処理ユニットは、スループットを向上させ、レシピ転送時間を向上させます。リアクターの非研磨処理機は、エッチング室の壁の摩耗を減らし、より均一なエッチプロファイルをもたらします。リアクターの他の機能には、リアルタイムガスモニターがあり、ユーザーはプロセスガスを分析し、エッチングプロセスの問題をすばやく解決することができます。さらに、高精度の水晶プラズマ源は、ウェーハのサイズに関係なく、すべての基板に均質なエッチングを保証します。エンドポイント自動制御機能は、欠陥が設計内にまだ表示されているときにエッチング処理を停止します。これは特徴の崩壊および浸食の危険を減らすのを助ける。最後に、NOVELLUS CONCEPT 2リアクター内で提供される高度なエッチレシピは、エッチプロセス全体の品質をさらに向上させます。お客様のご要望に沿った精密なパラメータを使用することで、きれいで均一な機能を実現することができます。IPCライブラリを使用してレシピとプロセス変数を保存でき、ユーザーはエッチングプロファイルをすばやく複製できます。結論として、CONCEPT 2 Reactorは、資産管理、均一性、およびスループットを向上させる最先端のエッチングツールです。その先進的な機能により、ハイエンド半導体デバイスに最適なモデルとなっています。正確なプロセスレシピとIPCライブラリにより、NOVELLUS CONCEPT 2 Reactorはクリーンで一貫したエッチングプロセスを保証します。