中古 NOVELLUS Concept 2 Triple Speed #9203792 を販売中

NOVELLUS Concept 2 Triple Speed Reactorは、半導体産業の厳しい要件を満たすように設計されたハイテクなエッチングおよび蒸着装置です。プロセスの汎用性と高速サイクルタイムのユニークな組み合わせにより、高品質な結果を低所有コストで実現します。コンセプト2 Triple Speedは、統一されたプラズマ技術を使用し、1つのプラットフォームでエッチングと蒸着の両方を処理できます。これにより、金属、酸化物、ポリマーなど幅広い材料を処理することができます。優れたアスペクト比と優れたステップカバレッジにより、高いエッチング率と低い欠陥を提供します。このユニットには3つの基本モードがあります。平面、平坦、深さの3つのモードがあり、最大アスペクト比はディープモードで最大20：1まで実現できます。これにより、浅いトレンチ絶縁（STI）から高度な相互接続構造まで、幅広いプロセス材料とアプリケーションが可能になります。NOVELLUS Concept 2 Triple Speedは、簡単で効率的な操作のために設計されており、セットアップ時間の短縮とメンテナンスのダウンタイムの削減を実現します。また、ウェーハの転送時間が短縮され、サイクル時間が短縮され、スループットが向上します。機械にまたプロセス安定性を高める多数の特徴があります。これらには、2つのガスチャネル、モバイルメディアソース、および改善されたガス供給ツールが含まれます。これにより、アセットはよりクリーンで一貫したプロセス結果を提供できます。このモデルはまた、プロセス能力とスループットを最大化するための多数のオプションを備えた非常に柔軟なアーキテクチャを備えています。これには、統合されたプロセスエンジン、拡張チャンバー構成、および自動クリーニングソリューションが含まれます。最後に、Concept 2 Triple Speedは、他のシステムよりも少ないエネルギーを使用するように設計されており、より効率的で費用対効果が高い。全体として、NOVELLUS Concept 2 Triple Speed Reactorは半導体産業にとって強力なソリューションです。高性能、汎用性、コスト効率を提供し、幅広い用途に最適です。