中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Triple Speed #9096021 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2 Triple Speedは、高生産性エピタキシー（HPE）および高度なリソグラフィ用途向けに設計されたCVD炉です。これは、優れたCVD性能を提供するように設計されており、200nm/minの均一性と0。5 nm/minの非均一仕様で、非常に高い沈着率が可能です。3つのレベルのパワーを備えており、すべての応用エピストラクチャーの最適な成長と表面平坦性を可能にします。トリプルスピード原子炉は、それぞれのレベルが異なるレベルの電力を占める3段階の反応室で動作します。まず、低消費電力基板ステージを使用して、結晶の過剰成長リスクを低減し、表面平坦性を向上させます。第2段階は、均一な成長条件を作り出すための強力な中型プラズマです。最後に、高出力の水素プラズマが中間膜の適合に使用されます。さらに、CONCEPT 2 Triple Speedには、反応チャンバーの位相に基づいて焦点を当てたプラズマポケットを作成することで、加速沈着を促進するTurboStar技術が搭載されています。これにより、均一性と適合性を高く保ちながら処理速度が向上します。トリプルスピードリアクターはまた、多くの高度な追加ツールやリソグラフィ光学と互換性があるように設計されています。その低コストの所有構造により、メンテナンスを最小限に抑え、長期的なコスト削減を実現します。NOVELLUS CONCEPT 2 Triple Speedは、サイクルタイムの短縮、歩留まりの向上、高い再現性を提供することで、製造プロセスを改善したいお客様に最適です。