中古 NOVELLUS CONCEPT 2 TiN #9206612 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2 TiN （Thermal Intelligent Nitrogen）は、プラズマ処理炉であり、大型基板サイズにおけるコンフォーマル薄膜の最適な堆積を提供します。ハイスループットと高い均一性を兼ね備えています。CONCEPT 2 TiNリアクターは、NOVELLUS Systems、 Inc。によって製造されており、広い敷地面積でも蒸着を保証するためにThermal Intelligent Nitrogen （TIN）プラズマを利用したユニークな設計が特徴です。設計には、窒素雰囲気を維持する高温チャンバーが含まれています。この環境は、高密度、低シース電界を作成するパルスDC電源を追加することにより、さらに最適化されています。部屋の温度、圧力および電界の独特な組合せは沈殿プロセスのための安定性そして均一性を提供する電子エネルギーレベルの精密な制御を可能にします。ガスは200〜300°Cの温度に加熱され、プラズマチャンバー内の一連の電極を通過します。電子は活性化されイオン化され、高密度で安定したプラズマ環境になります。蒸着プロセスは、材料の蒸発から始まり、次に窒素大気中の蒸発した材料の輸送が始まります。チャンバー壁に到達すると、プラズマエッチングが発生します。生成されたプラズマイオンは基板レベルで堆積し、表面原子と反応して望ましい膜を作り出します。NOVELLUS CONCEPT 2 TiNリアクターには、調整可能なパワーレベルも備えているため、プロセスエンジニアは各アプリケーションのニーズに合わせて堆積率を微調整することができます。CONCEPT 2 TiNリアクターは、優れた均一性を有する高スループット堆積物に最適です。その高度な動作パラメータは、電子エネルギーレベルを正確に制御し、正確な沈着と歩留まりの増加を保証します。NOVELLUS CONCEPT 2 TiNリアクターの効率と精度により、大型基板サイズのコンフォーマル薄膜の成膜に最適です。