中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9389932 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2 Speedは半導体製造で使用される高速炉です。これは、多くの先進技術を組み合わせて、チップメーカーが厳しい納期と困難な精度の要求を満たすために費用対効果の高い高性能ソリューションを提供します。CONCEPT 2 Speedは、比類のない均一性、フィルム応力制御、および成膜速度能力を備えた急速なコンフォーマルフィルム成膜を可能にする急速注入/in-situクリーンなプラズマ強化化学蒸着（PECVD）装置です。この原子炉は、高性能の堆積結果を提供する多くの統合された機能を利用しています。これには、シールドされたシャワーヘッドチャンバーを備えたKrytox™直接蒸着ドラム、クローズドループRFジェネレータ制御、および個別化された石英プロセス部品温度制御が含まれます。高速ガス交換機能により、プロセスの安定性と効率的なガス目標の使用がさらに保証されます。NOVELLUS CONCEPT 2 Speedには、リアルタイム基板マッピングシステムと高度なプロセス制御ソフトウェアも搭載されています。これにより、原子炉はその場の基板を監視し、マッピングデータを使用して必要に応じてプロセスパラメータを正確に調整し、完全な欠陥のないフィルム蒸着を保証します。CONCEPT 2 Speedは、2ゾーン処理戦略により、優れた均一性と正確な厚さ制御も提供します。これにより、基板のエッチング速度を素早く調整して「、レイヤーオンレイヤー」および「ボトムアップ」製造プロセスに対応し、非常に高いスループットを提供します。反応ゾーンは、放射シールドと統合されているため、超低基板温度を維持しながら、高いレベルの転送効率が保証されます。効率と費用対効果をさらに向上させるために、CMS （Chemical Manangement Machine）を内蔵し、化学プロセスの各コンポーネントを自動的に監視および制御します。これにより、反応プロセス全体にわたって品質、高圧、温度制御が保証されます。NOVELLUS CONCEPT 2スピードは、今日の市場で最も先進的な原子炉の1つです。次世代プロセスのための費用対効果の高い高性能ツールを必要とする半導体ファブリケーターに最適です。その高度な機能により、制御性、精度、および高効率の蒸着結果が向上し、チップメーカーは最も要求の厳しいアプリケーションにも対応できます。