中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9358724 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2 Speedは、高性能集積回路の精密エッチングに使用されるように設計された、生産レベル、高度に自動化されたマルチチャンバー、イオンビームエッチング炉です。CONCEPT 2 Speedは、生産レベルの設定で比類のない再現性と基板の均一性を提供します。信頼性が高く構成性が高く、ハイエンドで一貫したIon Beam Etch （IBE）パフォーマンスを提供します。NOVELLUS CONCEPT 2 Speedは、シングルチャンバーリアクター設定で優れた品質と再現性を提供するために最適に設計されています。高性能な集積回路を最高の精度と再現性でエッチングすることができます。CONCEPT 2 Speedは、高均一デュアルFOUP技術を駆使したマルチイオンビーム構成を採用し、あらゆる基板において高い均一性を提供します。これは、最高レベルの精度と制御、および基板の全幅にわたる深度エッチングのレシピで機能を生成するために構築されています。エッチチャンバーは二重壁であり、内部温度が安定しており、優れたエッチング品質を維持するために個別の冷却システムを備えています。NOVELLUS CONCEPT 2 Speedには、エッチング処理を最適化する機能も追加されています。独立したステージおよびチャンバー制御用に構成することができ、特定の基板がカスタマイズされたセットアップを必要とする場合、完全な柔軟性を可能にします。また、エッチング処理のパフォーマンスを向上させるさまざまなアクティブコントロールアルゴリズムを使用することもできます。これには、リアルタイムのフィードバック制御を利用してエッチング環境の変化を調整し、エッチング性能を最適化するAdaptive IBE Control （AIC）が含まれます。CONCEPT 2 Speedの革新的な設計により、基板スループットの向上、処理サイクルの高速化、および優れた信頼性を実現します。エッチングプロセスのパフォーマンスを追跡する診断機能を搭載し、プロセスの一貫性と最適化を確実にします。オンサイトサポートサービスチームは業界で卓越しており、比類のない技術的および運用上の洞察を顧客に提供します。独自の設計と機能により、NOVELLUS CONCEPT 2 Speedはハイエンド集積回路用の究極のIBEエッチング炉です。