中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9301536 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactorは、超低温プロセス向けに設計された蒸着システムです。NOVELLUS Systems、 Inc。によって開発されたCONCEPT 2 Speed Reactorは、DCパルスアークを駆動するハイブリッドリニアカソードを備えたシングルチャンバーツールです。このユニークな設計は、約125°Cから175°Cまでの温度でプロセスを実行することができ、酸化物から窒化物、または金属、ケイ化物、およびシリコン関連材料からなる個々の層までの幅広いクラスの材料の堆積を可能にします。NOVELLUS CONCEPT 2スピードリアクターは、1つのユニットで複数のプロセスを実行するように設計されています。これらには、成膜、チャンバークリーニング、ガス配分、および電極処理が含まれますが、これらに限定されません。各プロセスは、プロセス条件を最適化するために独立してまたは順次実行することができます。また、リアクターは取り外し可能なチャンバーで設計されており、効率的かつ正確な品質管理分析が可能です。CONCEPT 2 Speed Reactorには、自動シャワーヘッド構成も内蔵されています。これにより、チャンバー全体にプロセスガスを分散させ、ウェーハ表面の温度を制御することができます。さらに、陰極アセンブリは、金属または金属シリサイド成膜用の2つの交換可能なコンポーネントで設計されています。2つのコンポーネントにより、個別またはデュアルプロセスのパワーチューニングが可能です。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactorは、NOVELLUSの以前の原子炉システムよりも大きなフットプリントを持っています。これにより、インターフェース面積が増加し、均一性の向上や再現性の向上など、プロセスの最適化に不可欠な機能の面積が大きくなります。この原子炉はまた、ウェーハや部品を損傷する可能性のある粒子や汚染物質を除去する優れたクリーン技術を提供しています。CONCEPT 2スピードリアクターは自己完結型の環境で動作し、真空システムの必要性を排除してプロセスコストを削減します。さらに、原子炉は非常に低いプロセスガス流量を持ち、プロセスガスの効率的な使用のために構成することができます。そして、その設計のために、原子炉は単一のチャンバーシステムと1セットの真空源で複数のプロセスを実行することができます。結論として、NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactorは超低温プロセスに最適なツールです。従来のNOVELLUSモデルと比較して設置面積が大きく、ハイブリッドリニアカソードと自動シャワーヘッド構成で設計されているため、均一性と再現性が向上します。また、1つのユニットで複数のプロセスを処理することもできます。CONCEPT 2スピードリアクターは、優れたクリーン技術を提供し、低プロセスガス流量で高効率です。