中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9238452 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2 Speedは、部品の均一性を向上させ、製造スループットを向上させるために設計された、高度なデュアル処理プラズマ強化化学蒸着（PECVD）原子炉です。これは、薄膜コーティングの成膜のために市場で入手可能な最も先進的なPECVDシステムの1つです。CONCEPT 2 Speed PECVDリアクターは、RF対応の非熱プラズマを備えたデュアル処理チャンバーを使用して、優れた均質性と特性を持つ均一なコーティング層を作成します。2スピードシステムは、2つの交互プロセスチャンバーと2つの個別RFジェネレータを使用することで、優れた層精度、均一性、および表面品質を提供します。このPECVDシステムは、高精度のプロセスガス計量と制御を備えており、プロセス制御と均質性を向上させるための適切な作業パラメータと基板の均一性を保証します。また、ダイレクトプラズマ発生器を備えており、プロセスチャンバーの汚染を低減し、優れた再現性を提供します。これは、ユーザーに幅広いオプションのプロセスガス組成とチャンバー圧力を提供し、複雑なトポロジのための複数の層の堆積を可能にします。NOVELLUS CONCEPT 2 Speedはまた、高密度コーティングのための改善された濾過を提供します。これにより、クリーニングと乾燥のサイクルを追加する必要がなくなり、スループットが向上し、コストが削減されます。また、徹底的に監視された基板温度制御を備えており、欠陥形成の低減に役立ちます。コンセプト2 スピードPECVDシステムは、さまざまな業界のクリーンルームおよび生産アプリケーション向けに設計されています。半導体加工、フラットパネルディスプレイ、自動車、オプトエレクトロニクス、装飾コーティングなどの用途に適しています。