中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9189030 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2 Speedは、超高真空（UHV）技術を用いて精密な薄膜蒸着を行う先進的な半導体加工炉です。この原子炉は、通常、半導体製造工場で微細な構造を作成するために使用されます。原子炉の主な設計要素の1つは、その特許取得済みのRFエネルギー源であり、堆積層の堆積速度と厚さを極端な精度で制御することができます。また、蒸着プロセスの正確な制御を容易にし、顧客が必要とする正確な仕様に生産を容易にする他のコンポーネントの多数を収容しています。CONCEPT 2スピードリアクターは、UHV空間を含む直径40cmのるつぼタイプのチャンバー、加熱コイルのセット、各種ガス入口および排気ポートを使用しています。チャンバーは2つの低圧ゾーンと高圧ゾーンに囲まれており、中空基板ホルダーに反応ガスを供給します。このホルダーには、抵抗加熱テールとファラデーケージも装備されており、イオンビームエネルギーを完全に制御する材料の正確な堆積を保証します。また、原子炉の電源供給装置は、加熱、不活性ガス、および反応性ガス蒸着プロセスのための正確なRFエネルギーを供給することができます。このシステムは、最大500kWのRF電力を供給することができ、プロセスからのリアルタイムフィードバックを利用してソフトウェアを介して制御されます。また、NOVELLUS Concept 2 Water Speedでは、イオンビームエッチング、選択パターニングなど、他の原子炉では使用できないプロセスにもパルスソータ技術が採用されています。NOVELLUS CONCEPT 2の冷却速度は、室内の壁の内部リングに冷却水を供給する液浸再循環によって達成されます。このユニットは、温度が最適なレベルで維持されることを保証し、正確かつ正確な堆積を保証します。これらのコンポーネントに加えて、CONCEPT 2 Speed Reactorにはコンピュータ支援プロセス制御マシンも含まれています。このツールは、蒸着速度だけでなく、温度と圧力を監視することができ、また、蒸着プロセスを微調整する機能を提供します。NOVELLUS CONCEPT 2 Speedは非常に高度で精密な蒸着炉で、幅広い用途に最適です。様々な特徴を備えた原子炉は、蒸着プロセスを完全に制御し、極めて精度の高い複雑な薄膜構造の生産を可能にします。