中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9182380 を販売中

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製造業者
NOVELLUS
モデル
CONCEPT 2 Speed
ID: 9182380
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2005
CVD-HDP System, 8" Includes: LEYBOLD Pump Generators: (2) CLF-5000 (2) PDX-8000 (3) RFG-5500 TM: Magnatran 7 TMH260 MC1 CH1: TMP – TMH1600 Match-AMU10E-2 CH2: TMP – TMH1600 Match-AMU10E-2 CH3: TMP – TMH2101 Match-Mercury-3013 RPS3L NTM500 EPD MC1 2005 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2 Speedは、アプリケーション固有の集積回路(ASIC)設計のために特別に設計された次世代の蒸着装置です。薄膜材料を選択的に成膜できる特殊なクリーンルーム環境です。このシステムは、複雑な集積回路の製造性を向上させる制御および反復可能なプロセスを提供します。CONCEPT 2 Speedは、一度に最大150個のウェーハを処理できる真空チャンバーを備えたシングルオペレータユニットです。この機械は、窒化ケイ素や銅などの材料の層を高精度で均一に堆積するように設計されています。これにより、最終製品に欠陥が少なく、一貫性のある特性が確保されます。また、腐食やその他の汚染に対して耐性がある高品位の材料の使用をサポートしています。NOVELLUS CONCEPT 2 Speedの最も注目すべき特徴の1つは、複雑な沈着シーケンスを実行する機能です。ツールの構成に応じて、1つのウェーハまたは1バッチのウェーハに複数の堆積ステップを構成できます。このアセットにより、温度、蒸着速度、蒸着膜厚などのパラメータを個別にチューニングすることもできます。この種のパラメーター制御の助けを借りて、メーカーはモデルを調整して、必要なレイヤーの種類を正確に生成することができます。コンセプト2スピードには、人員を保護し、汚染から守るための安全機能も含まれています。これは、保護装置やシールドのフルレンジが装備されており、危険の兆候があるかどうかシステムとそのコンポーネントをチェックする監視装置。さらに、このユニットは、最適なプロセス条件を維持するために環境チャンバーで設計されています。これにより、堆積プロセス中に粉塵粒子やその他の空気中の汚染物質が妨害されないことが保証されます。NOVELLUS CONCEPT 2 Speedは、業界で優れた性能と精度を提供するように設計された革新的で信頼性の高い蒸着機です。高度な堆積プロセスと最先端の安全性と環境保護機能を組み合わせることで、ユーザーにとって信頼性が高く、効率的で費用対効果の高いツールとなります。その結果、精密チップと部品を信頼性と一貫した方法で製造することを検討している人にとって理想的なソリューションです。
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