中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9146625 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2スピードリアクターは、最終製品の一貫性を向上させながら、半導体製造プロセスの速度を向上させるように設計された特殊な装置です。この装置は、集積回路、メモリ、その他の高度な電子部品などの半導体デバイスの製造に使用されています。CONCEPT 2スピードリアクターは、汚染を最小限に抑えながら、最高のサイクルタイムで最高のファブレートを実現するユニークな設計を誇っています。それは独立して熱くされたアニールおよび沈殿の地帯が付いている2地帯、高温diffusionの部屋、です。成膜ゾーンは、基板を最大850°Cの温度範囲まで上昇させる「基板エレベーター」と呼ばれる2つのエレベーターの1つに基板を保持し、目的の金属や材料を正確に堆積させることができます。アニーリングゾーンには、誘導炉技術の助けを借りて、様々な金属や他の材料を急速に回転させて混合するロータリーチャックが含まれています。NOVELLUS CONCEPT 2スピードリアクターには「、マルチシステムインターフェイス」と呼ばれる特殊なハードウェアとソフトウェアプラットフォームが含まれています。このインターフェースを使用すると、温度、ガスの流れ、圧力、乱流、およびその他の要因を含むさまざまなパラメータを制御、監視、および調整できます。マルチシステムインターフェイスにより、ユーザーはレシピを調整し、反応プロセスを監視し、反応のステータスに関するフィードバックを受け取ることができます。高度なハードウェアおよびソフトウェア部品に加えて、CONCEPT 2スピードリアクターは、ヘリウム、アルゴン、窒素、水素、真空、およびその他の特殊ガスを使用して、チャンバー内の拡散および蒸着プロセスを最適化する特殊ガス供給システムを備えています。NOVELLUS CONCEPT 2スピードリアクターは、迅速なサイクルタイムと高いファブレートを達成する能力により、さまざまな製造ニーズに最適なソリューションです。さらに、原子炉はシリコンウェーハや部品を汚染する粒子がなく、きれいに動作するように設計されています。また、他の同様の原子炉と比較して同じレベルの製造を達成するために、より少ない原材料とエネルギーを利用して、高効率です。