中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9146623 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2スピードリアクターは、半導体デバイス層を大量製造するために使用される高度で汎用性の高い化学蒸着（CVD）ツールです。高度なMPUや高性能トランジスタ設計など、最大350mmまでの基板加工が可能です。CONCEPT 2 NOVELLUSのスピードリアクターは、柔軟なマルチステーションアーキテクチャを備えており、高いスループットと低コストのダイ生産を可能にします。この原子炉にはデュアルリアクタ、デュアルサブストレート処理装置が含まれており、300 mmおよび350 mmの大型ウェハの前面および裏面処理を同時に行うことができます。また、処理ステーション間の高速転送を可能にする包括的なウエハハンドリングメカニズムを備えています。この原子炉は高度な堆積プロセスを利用しており、水素シルセスキオキサン（HSQ）、ポリシリコン、ケイ酸ガラスなど幅広い材料を処理することができます。これは、基板全体にわたって最適な温度均一性と正確な層厚制御を提供するように設計されています。このプラットフォームは、高圧低消費電力モードを使用して、過剰な加熱率の望ましくない影響を最小限に抑え、再現可能な蒸着結果を保証します。さらに、原子炉室内の基板の取り扱いと位置決めのために、垂直アライナーとリアライナーを採用しています。原子炉には、高真空を実現し、長期間にわたって維持することができる真空システムが含まれており、信頼性と再現性の高いCVDプロセスを保証します。ポンピングユニットには、チャンバーから粒子を除去する統合キャプチャーマシンが装備されており、クリーンエッチング処理を提供します。NOVELLUS CONCEPT 2 Speedは、究極の信頼性と生産スループットを目指して設計されています。包括的な監視、フィードバック、障害保護機能を備えており、プラットフォームを生産ラインにシームレスに統合できます。原子炉はさらに高度な静電チャック（ESC）を装備しています。これにより、ウェーハ段階での精密なウェーハクランプが可能になり、極めて低電圧値になります。CONCEPT 2スピードには、ユーザーに貴重なデータを提供できるデータロギングツールが搭載されています。ロギング資産は、歩留まり、プロセス履歴、レシピ開発、欠陥データおよびその他の主要パラメータを記録し、歩留まりとスループットの最適化を支援します。最後に、NOVELLUS CONCEPT 2 Speedは、大量、低コスト、再現可能な蒸着処理用に設計された先進的なCVD炉です。包括的なウエハハンドリングおよびモニタリングシステムを備えており、信頼性の高い下流処理と高スループットを実現します。この原子炉は、クリーンエッチングプロセスを提供し、水素シルセスキオキサンからケイ酸ガラスまで、幅広い材料を処理することができます。