中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9140633 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed
リアクター
製造業者
NOVELLUS
モデル
CONCEPT 2 Speed
ID: 9140633
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
Systems, 8" (3) Chambers Wafer shape: flat PET Module Module A: Shrink Process A: STI / IMD Module C: Shrink Process C: STI / IMD System UPS power Module B: Shrink Process B: STI / IMD Loadlock dry pump: LOT 105 Slit valve insert Slit valve type: SMC L-Motion TM dry pump model: LOT 105 Loadlock baratron: MKS TM Turbo pump: PFEIFFER TMH260 TM Throttle valve: MKS TM Baratron model: MKS Wafer sensor Fab installation EMO's (Turn to release) Front monitor: Stand alone UI rack Signal tower Module controller: MC1 Host interface: SECS Module A: Chamber type: Shrink Chamber process: STI / IMD Process clean type: In-situ Module controller: MC1 Module turbo pump: MAG2000 Manometer 1(10T): MKS7 750B Throttle valve: MKS 153D-15973 ESC / Dome cooling: PCW Temperature monitoring: NTM500C Manometer 2(10T): MKS 750B HF Generator: AE RFG5500 LF Generator: AE PDX 8000 RF Match: Mercury 3013 Manometer 3(100m): MKS 629B Dual clean injector kit Injector type: Single Louvered screen Pedestal lift type: Dual position Foreline type: Universal Injector size: 2" Module B: Chamber type: Shrink Chamber process: STI / IMD Process clean type: In-situ Module controller: MC1 Module turbo pump: MAG2000 Manometer 1(10T): MKS7 750B Throttle valve: MKS 153D-15973 ESC / Dome cooling: PCW Temperature monitoring: NTM500C Manometer 2(10T): MKS 750B HF Generator: AE RFG5500 LF Generator: AE PDX 8000 RF Match: Mercury 3013 Manometer 3(100m): MKS 629B Dual clean injector kit Injector type: Single Louvered screen Pedestal lift type: Dual position Foreline type: Universal Injector size: 2" Module C: Chamber type: Shrink Chamber process: STI / IMD Process clean type: In-situ Module controller: MC1 Module turbo pump: MAG2000 Manometer 1(10T): MKS7 750B Throttle valve: MKS 153D-15973 ESC / Dome cooling: PCW Temperature monitoring: NTM500C Manometer 2(10T): MKS 750B HF Generator: AE RFG5500 LF Generator: AE PDX 8000 RF Match: Mercury 3013 Manometer 3(100m): MKS 629B Dual clean injector kit Injector type: Single Louvered screen Pedestal lift type: Dual position Foreline type: Universal Injector size: 2" Power supply: 3￠, 5 Wires, 208V 2000 vintage.
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NOVELLUS CONCEPT 2 Speedは、大型基板上にコンフォーマル薄膜を構築するために設計された化学蒸着（CVD）原子炉装置です。このシステムは、基板表面全体に対して高いスループットと優れたプロセス制御を提供するように設計されています。CONCEPT 2 Speed Reactorはモジュラー設計を採用しており、蒸着システムを正確な要件に合わせて構成することができます。NOVELLUS CONCEPT 2スピードリアクターは、シングルパスシャワーヘッドを備えた低圧CVDチャンバーを備えています。シャワーヘッドは、基板全体に化学物質を迅速かつ均等に分配することができます。この効率的なガス分配技術は、エッジ効果を排除し、表面全体に均一で均一な蒸着速度を提供します。CONCEPT 2最高品質の機器のみを使用してスピードを構築します。これは、最も厳しい品質管理要件を満たし、正確で再現性のある蒸着プロセスを確保するように設計されています。また、高効率であるように設計されており、ユーザーはより速く、より少ない材料でより多くの金属化フィルムを作ることができるため、時間とコストを節約できます。NOVELLUS CONCEPT 2スピードリアクターには、プロセス性能とプロセス歩留まりを最大化するように設計された高度なプロセス制御マシンが含まれています。このツールは、信頼性の高いマルチパラメータプロセス制御モジュールと直感的なユーザーインターフェイスを備えています。さらに、このアセットを構成することで、リモート監視、マルチチャンバー同期、リアルタイム歩留まり管理が可能になります。CONCEPT 2スピードは、マイクロエレクトロニクスやソーラーパネル生産など、幅広い産業での使用に適しています。このモデルは、既存のNOVELLUS Foundryソリューションと統合可能であり、ユーザーに堆積ニーズのすべてに単一のソースを提供します。NOVELLUS CONCEPT 2スピードリアクターの高度なチャンバー設計とプロセス制御により、高い反復性と効率性を備えた優れたコンフォーマル薄膜蒸着をユーザーに提供します。
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