中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9105955 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2スピードリアクターは、集積回路（IC）の製造に使用される先進的な半導体製造装置です。このシステムは、費用対効果の高い高性能デバイスを製造し、最高水準の品質を満たすように設計されています。このユニットには、高度なエッチング、成膜、および表面処理技術のユニークな組み合わせが組み込まれています。このマシンは、デジタル、アナログ、RF、オプトエレクトロニクス、MEMS、およびパワー回路を含む幅広いICの生産に適しています。ツールの中心には、量子共鳴チャンバー（QRC）があります。高真空・高解像度エッチング素材であり、幅広い素材や様々な基材に精密かつ再現性の高いパターニングが可能です。QRCは、10nmという小さいサイズの最も困難な形状を生成することができます。また、業界で比類のない平坦性とラインエッジのラグジュネス（LER）値を持つサブミクロンラテラルおよび垂直パターンを生成することもできます。QRCはCONCEPT 2 Speed Deposition Module （NDM）によって補完されます。この技術プラットフォームは、高い蒸着率と優れたフィルム均一性のために設計されています。このモデルは、ポリシリコン、金属、酸化物、窒化物、絶縁体など、さまざまな材料を堆積させることができます。また、多種多様な特殊フィルムを提供し、高度な3D-structuresの製作を可能にすることができます。さらに、NDMはスループットを最大化し、ウェーハのサイクルタイムを最小限に抑えるように設計されています。これを実現するために、NDMは4つの異なるチャンバーで最大300個のウェーハを同時にロードおよびアンロードすることができます。また、複数のワークフローを並行して実行することができ、複数のプロセス制御システムとインタフェースすることができます。NOVELLUS CONCEPT 2 Speedは、0。15ミクロン以下の粒子汚染要件を含む、最も厳しい汚染のない要件を満たすように設計されています。この装置は、リフトオフ、休憩、SiNオパール、ディープエッチングなど、多くの特殊なイメージングおよびエッチング処理を行うことができます。このシステムは、専用のFIB-およびe-beamプロセスも提供しています。CONCEPT 2 Speed Reactorは、最先端のICを製造するために必要な、卓越した柔軟性と精度を提供する、高度で高性能で費用対効果の高い製造ユニットです。