中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Shrink #9294359 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Shrinkは、半導体および関連製造業界で使用される高速、高性能の物理蒸着（PVD）炉の一種です。相互接続、デバイス製造、デバイス保護に使用される複数のフィルムを堆積することができます。Concept 2リアクターは、光学的にも機械的にも先進的な「フローティング」チャンバー設計で、振動を低減し、スループットを最大限に高める超硬質ダイナミックチャンバー部品を採用しています。コンセプト2は、高度なPVDフィルム成膜装置を使用しており、アルミニウム、タングステン、銅フィルムを1つのツールで成膜できます。オペレータは、蒸着速度、ターゲットの厚さ、および層の組成を設定することができ、再現性と信頼性の高いフィルムを可能にします。さらに、Concept 2は酸化物、窒化物、金属ケイ化物などの幅広いフィルムを製造することができます。フィルムの均一性を向上させるために、Concept 2は高度なコイル結合マグネトロンシステムを使用しています。このユニットは、スパッタリングプラズマを作成するために、2つのマグネトロンを使用し、チャンバー内の電子を中和するために、もう1つは、低粒子生成の均一な膜になります。さらに、Concept 2は高度な内部プロセス制御を利用して、レシピのチューニングとプロセスの最適化を可能にします。コンセプト2は、優れた基板アライメントを実現する赤外線レーザラッピングマシンを採用しています。このツールは、設計平面の10 μ mのウェハ表面を正確に調整することができます。また、ウエハケータリング機能も強化されており、1つのプロセスで最大10種類のフィルムを積層することができます。プロセスパラメータは、堆積している特定のフィルムに応じて調整することができ、結果として反復可能な厚さと組成になります。安全性の面では、NOVELLUS Concept 2は、制御モデルが危険な圧力の蓄積に気づいたときにチャンバーガスを遮断するスプレーバック機能を備えています。さらに、装置は、潜在的に有害な粒子の安全な放出レベルを確保するための積極的なスクラバーシステムを持っています。さらに、プロセスガスを分離し、別々のブランチで監視することができ、メンテナンスが容易になります。全体として、CONCEPT 2 Speed Shrinkリアクターは高度なPVDツールで、優れた均一性と再現性を備えた複数のフィルムを堆積させることができます。安全性に優れた高性能フィルムを製造することができる半導体および関連製造業の重要なツールです。