中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Sequel #172487 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Sequelは、NOVELLUSのConcept 2 Speedレンジの最新バージョンです。先進的な半導体製造部門をターゲットにしており、簡単で費用対効果の高いウェーハプロセス機能のアップグレードが可能です。CONCEPT 2 Speed Sequelは、従来のシングルウェーハツールアーキテクチャよりも高いスループットレートをユーザーに提供するように設計されています。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Sequelは、オリジナルのConcept 2 Speedツールの機能をベースに、2つの異なるレベルのプロセス制御を提供します。これには、高解像度のレイヤーイメージング、リアルタイムチャンバー管理、および幅広い先端材料プロセスのタイトプロセスモニタリングが含まれます。この原子炉はConcept 2 Speedアーキテクチャ上に構築されており、UVフォトアシストCVD （PECVD）プロセスチャンバーとガス供給装置を備えています。ウェーハ表面全体の膜厚均一性を正確に制御し、高いウェーハ速度で優れた生産歩留まりを実現します。CONCEPT 2 Speed Sequelのユニークなデザインは、効率的なガスシールド技術をシステムに装備し、プロセスの側壁酸化とプラズマカップリングを防止する優れた保護を提供します。この原子炉には、複雑なマルチステッププロセスを最小限の労力で完了するように簡単にプログラムすることができる高度なコントローラーユニットも備えています。高度な制御マシンは、ユーザー定義のパラメータを事前に設定することができ、ツールは、並外れた精度、再現性と歩留まりでレシピを実行することができます。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Sequelは、さらなる柔軟性を提供するために、リアクター環境とウェーハプロセスをリアルタイムで監視できるin-situ監視および分析機能を備えています。これにより、異なるウェーハ間で一貫したプロセスを確保し、プロセスのバリエーションを防ぐことができます。結論として、CONCEPT 2 Speed Sequelは、高度な半導体生産のニーズを満たすように設計された効率的で信頼性の高い原子炉です。高い柔軟性、プロセス制御、再現性をユーザーに提供するとともに、スループット率と優れた歩留まりを向上させることができます。