中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed-S #9206613 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed-S Reactorは、材料の非常に薄い層をワークの表面に適用するために使用される化学蒸着（CVD）ツールです。このCVDツールは、アルミニウム、シリコン、ゲルマニウム、およびその他のメタロイドのようなさまざまな材料を堆積させることができます。Speed-Sリアクターは、堆積層のナノメートルレベルの厚さと化学組成を比類のない制御を提供します。この原子炉は、反応室内の超高真空環境を維持し、最高品質のフィルム蒸着を実現し、プロセスが不純物を最小限に抑えて動作することを保証します。Speed-Sリアクターは非常に効率的に設計されており、基板表面全体に均一なフィルム分布を提供しながら、堆積欠陥を排除します。これは、プロセスガスの流れを正確に制御する特許取得済みのGasFlow-3装置や、成膜工程を通じてワーク表面を継続的に洗浄するブラシリフトシステムなどの先進技術を組み合わせて実現しています。Speed-Sリアクターは、スピン・オン・ガラス機能により、ポリマーのような有機材料の繰り返し可能な層を提供することができ、カスタマイズされたフィルムを簡単に製造することができます。この装置の可燃残留ガス管理装置（FRGMS）は、安全性と政府の規制への準拠を保証します。一方、原子炉のActivePlay技術は、非接触で遠隔地からSpeed-S原子炉を遠隔監視および制御することを可能にします。Speed-Sリアクターは、基板面積全体にわたって均一な厚さの反復可能な均一で非常に薄い膜を確実に生成することができ、表面特性の向上と耐食性の向上を可能にします。この蒸着プロセスは、高温、高精度のオーブンを利用し、数千のアングストロームから数百ミクロンの幅広い膜厚で材料を堆積させることができます。Speed-Sリアクターは、既存の生産ラインに簡単に統合できるように設計されており、さまざまな自動プロセスと互換性があります。このツールには、AI駆動アルゴリズムを使用してプロセスパラメータをリアルタイムで調整する、オンザフライのプロセス最適化を可能にする「SmartLink」も搭載されています。これにより、Speed-S Reactorは、精度が不可欠な自動車、航空宇宙、電子機器などの産業に最適です。Speed-Sリアクターは、長期的な信頼性、低コストのメンテナンス、簡単な操作を提供するため、誘電体フィルム、原子層成膜、太陽光発電層などの用途に最適です。