中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed DLCM #9109574 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed DLCMは、高度で多機能な化学蒸着（CVD）炉で、速度、スループット、効率を向上させます。銅、ロジウム、アルミニウムなどの高密度材料の用途向けに設計されており、堆積条件を正確に制御するための多くの機能が含まれています。この原子炉は、デュアルスピードハイフィットガスディストリビュータ、リニアスキャンステージ、および調整可能な直接液体冷却機構を備えたユニークなキャリアデザインを採用しており、優れた温度均一性を確保しています。直接液体冷却機構により、素早いプロセス冷却が可能で、基板の熱損傷を防ぎます。CONCEPT 2 Speed DLCMには半透過性磁界ストップ層があり、酸素や他のガスの堆積帯への侵入を制限します。この機能により、蒸着速度と均一性の制御が向上します。NOVELLO NOVELLUS CONCEPT 2 Speed DLCMは、イオン化と蒸着パラメータを正確に制御できる2段マイクロ波プラズマ放電システムも備えています。リニアスキャンステージは、反応性ガスを高速かつ正確にスキャンし、気相ノイズとガス混合の両方を低減します。CONCEPT 2 Speed DLCMは使いやすく、精密な蒸着制御のために複数の機能を備えた非常にプログラム可能です。ユーザーインターフェイスは、タッチスクリーンコントロールと大きなグラフィカルLCDディスプレイを備え、シンプルで直感的に設計されており、堆積パラメータを簡単に監視できます。ガスフロー、温度、圧力、マイクロ波周波数などのプロセスパラメータをリアルタイムで調整することができ、蒸着パラメータを高度に制御できます。最後に、NOVELLUS CONCEPT 2 Speed DLCMは、安全で一貫した操作のための高度な安全機能を利用しています。予期しない条件が検出された場合、プロセス反応を停止するためにインターロック回路を使用して設計されています。さらに、原子炉は、堆積プロセスの安全性と品質を向上させるために、高度な粒子監視および濾過システムを使用しています。CONCEPT 2 Speed DLCMは、高密度材料を高速かつ高精度に蒸着できるように設計された高性能の蒸着炉です。この原子炉は、信頼性の高い安全機能を備えた堆積パラメータの優れた制御を提供するため、プロセスエンジニア、研究者、およびアカデミックラボに最適です。