中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #9399068 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2続編は、ウェーハ加工用に設計された高温化学蒸着（CVD）装置です。最も要求の厳しい半導体製造ニーズに対応するために設計されたCONCEPT 2続炉は、幅広い基板温度の間に、優れた精密なフィルム蒸着制御を提供します。ヒーターペデスタルファンデーションを採用し、1000°Cまでの基板温度を確実かつ正確に制御できます。また、1 Torrまでのプロセス圧力にも設定できます。革新的なマルチピストンデザインを誇るNOVELLUS CONCEPT 2 Sequelは、金属または金属-有機材料を同時に使用できます。CONCEPT 2の続編で使用されるプロセスガスは、自動的に分散または手動で制御することができ、フィルムの均一性と厚さを向上させることができます。密閉されたオープンチャンバー設計により、既存の生産ラインへの容易な設置と基板内の最適な温度バランスが可能です。また、それ以外の場合は大気を汚染する排水を捕獲することができます。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequelは、優れた温度および圧力制御に加えて、効率的なガス流量制御ユニットも備えています。この機械は原子炉内のガスの流れを監視し、基板内の圧力と温度のレベルを素早く調整することができます。さらに、原子炉は、Semiconductor Manufacturing Execution Tool （SMES）ソフトウェアのプログラムと互換性があり、ユーザーは資産のパフォーマンスを簡単に追跡することができます。最新のNOVELLUS技術を使用して構築されたCONCEPT 2 Sequel原子炉は、高い信頼性とエネルギー効率を備えています。また、危険な材料、熱、または圧力の混乱からモデルを保護するさまざまな安全機能も備えています。最後に、NOVELLUS CONCEPT 2 Sequelはメンテナンスが特に簡単で、サービスを必要とする場合には最小限のダウンタイムしか必要ありません。