中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #9250953 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequelは、次世代のIC製造工程を実現するために開発された高度な化学蒸着（CVD）炉です。NOVELLUS CorporationはCONCEPT 2 Sequelにより、既存のCVD技術を最大限に活用し、機能を強化して市場で最も信頼性の高い先進的な原子炉にしました。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequelは、多種多様なアプリケーションに対応するために非常に汎用性の高い構成で設計されています。並列モードと並列モードの両方で動作し、最適なスループットまたは最適な均一性を実現するシングルウェーハCVDリアクタです。CONCEPT 2 Sequelの物理設計では、非常に均一な熱環境でウェーハを安定させるための強力なマルチゾーン静電チャックを介してウェーハを所定の位置に保持します。また、複数の炉ゾーン、高精度ヒーター、独自の高圧ガス供給システムを備えており、各ウェハに一貫した蒸着を実現しています。また、フィルムストレスを最小限に抑えるために、沈着シールドだけでなく、汚染の発生を防ぐためのin-situ洗浄機構を備えています。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequelは、機械設計に加えて、CVDプロセスの生産性を最大化する高度なソフトウェアを搭載しています。このソフトウェアの特長は、CVDプロセス制御、レシピ開発、データ収集、故障検出およびアラーム、および高度な診断テストの範囲です。特許出願中のNOVELLUS Controlパッケージは、CONCEPT 2 Sequel用に特別に設計されており、業界で最も堅牢でユーザーフレンドリーなソフトウェアです。全体として、NOVELLUS CONCEPT 2 Sequelは、最も要求の厳しいアプリケーション向けの最も先進的で信頼性の高いCVD炉です。その汎用性と幅広いプロセス能力、その高度な機械的およびソフトウェア機能と組み合わせて、最高レベルの品質を達成するための理想的なソリューションになります。このCVDリアクターは、厳しい仕様や市場投入までの時間の制約に容易に対応できるため、お客様は最高レベルの信頼性を持つ半導体コンポーネントを製造することができます。