中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #9247399 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel
製造業者
NOVELLUS
モデル
CONCEPT 2 Sequel
ID: 9247399
System 2006 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2 Sequelは、高い蒸着速度プロセスと複数のプロセスアプリケーションが可能な汎用性の高い原子炉です。先進のるつぼ技術とガス配送システムを使用して、幅広い材料を加工できるように設計されています。CONCEPT 2続炉はマルチチャンバー設計で、より多くのチャンバを一度に処理できるようにすることで、プロセス時間を短縮することができます。最大12個のウェーハを同時に処理でき、スループットを向上させることができます。さらに、可変プロセスチャンバーサイズを備えているため、オペレータはさまざまなウエハサイズと基板構成に対応できます。これは、さまざまな基板の加工に興味のある方に便利です。この原子炉はまた、ガス混合技術を使用してウェーハ間の均一なガス流量を作り出す低圧CVDシステムを備えています。これは、堆積物のより良いフィルムの均一性と再現性を確保するのに役立ちます。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequelは、加熱台座や対流などの高度な熱管理技術を使用して、蒸着時にウェーハ全体に均一な温度分布を提供します。これにより、熱勾配の問題が少ないため、より高い蒸着率が得られます。CONCEPT 2続編リアクターにはプロセスフロー監視システムが内蔵されており、沈着プロセスをよりよく理解し、リアルタイムで調整することができます。これは、コスト効率と正確なプロセス制御を確保するために重要です。NOVELLUS CONCEPT 2 SEQUELは、さまざまなプロセスや材料に対応するために使用できる、よく設計された、信頼性の高い、ユーザーフレンドリーな原子炉です。高い蒸着率プロセスと再現性のあるフィルムを提供し、効率的なプロセスと信頼性の高い結果を求めるエンジニアに最適です。
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