中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #9188213 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequelは、半導体チップの製造に使用される高性能エッチングリアクターです。誘電体、ポリシリコン、タングステン、浅いトレンチ絶縁（STI）エッチングプロセスで、スループットの向上、均一性の向上、サイクルタイムの短縮に最適です。Concept 2は、デュアルプレッシャー、デュアルガス構成を備えており、非常に効率的です。より高いクイックスタート圧力は、比較的短い起動サイクル時間を可能にし、より低い作業圧力は最適なガスと粒子の流れを保証し、その結果、処理コストが低くなります。Concept 2には、エッチングプロセスをより細かく制御できる2つの周波数制御RFジェネレータも備えています。デュアルマイクロ加工のダブルLEDスキャン装置は、最高のスループットと優れた品質の結果を保証し、粒子サイズ、均一性、スパッタレートの最小のバリエーションを検出します。マイクロ波発電機は、起動時および動作中にチャンバーを必要な温度に瞬時に加熱することができます。高効率ガス搬送システムと組み合わせることで、最高のプロセススループットと最適な均一性を実現します。Concept 2には冷却プラズマ構造のコールドウォール構造も採用されており、エッチングする周辺の優れたサーマルプロファイリングソリューションを提供します。これにより、熱勾配を低減し、省エネルギーを促進し、クロス汚染を削減し、機械的傾きとスキャンによる反射とサイクルタイムのペナルティを排除します。さらに、Concept 2はメンテナンスと修理を簡素化するクイックアクセス機能を可能にします。このプラットフォームは統合された診断センターを備えており、オペレータは製造プロセス全体を通してユニットに加えられた変更と追跡調整を行うことができます。さらに、リアルタイムプロセスモニタリングマシンにより、オペレータはウェーハエッチングの品質とプロセスパラメータを監視できます。全体として、CONCEPT 2 Sequelは、半導体チップの製造における歩留まり、スループット、均一性、コスト削減に理想的な原子炉です。