中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #9066527 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 9066527
ヴィンテージ: 2007
LCM System, 6"
Single Chamber
Plumbed for Nitride Deposition process
Chamber mounted in Right port location
QNX4 Control Type
MC3 System
Module Controllers
2007 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2 Sequelは、製造プロセスのスループットを高め、コストを削減するために設計された画期的な半導体エッチング炉です。この原子炉は、高度な蒸着およびエッチング処理を使用して、小さな記憶から大きなマイクロプロセッサまで、高品質の半導体コンポーネントを効率的に製造します。CONCEPT 2続編は、基板の損傷を最小限に抑えて動作可能な高速・高密度エッチングシステムです。独自の物理蒸着(PVD)プロセスを採用し、エッチング前に基板上に均一なコートを作成します。PVDはまた、明確で複製可能な結果を生成する高忠実度のエッチプロファイルを生成します。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequelはまた、ユーザーが特定のニーズに合わせてエッチパラメータを調整できる高度なプロセス柔軟性をサポートしています。このシステムは、さまざまな材料、圧力、温度、およびジオメトリ要件に対応するためにカスタマイズできる幅広いエッチレシピを備えています。システムの高度なアルゴリズムとエキスパート制御プロセスは、生産サイクル時間の短縮にも役立ちます。効率的なサイクルスタート/ストップシーケンシングにより、ダウンタイムを最小限に抑え、高精度のエッチング制御プロセスにより、エッチング率を低減し、製造部品の損傷を軽減します。CONCEPT 2 Sequelは、デバイス製造、平面化、化学機械研磨(CMP)、選択的エッチングプロセスなど、さまざまな生産プロセスやアプリケーションで使用できる強力なツールです。優れたエッチング性能と所有コストの削減により、産業用および消費者向けのエッチング作業に最適です。
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