中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #293820418 を販売中
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ID: 293820418
ヴィンテージ: 2012
Dual sequel express system
Single chamber
Power supply: 208 VAC, 50/60 Hz
3 Phase
2012 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2 Sequelは、高効率の化学蒸着（CVD）処理用に設計された水平シングルウェーハリアクターです。ユニークで特許取得済みの設計を採用し、反応室全体で均一で再現性のある温度制御を保証します。原子炉の効率的な設計は、生産性を最大化し、ダウンタイムを最小限に抑え、運用コストを削減するのに役立ちます。CONCEPT 2続編は、2つの独立した反応室を持つ水平方向の「直角」原子炉です。これにより、2つのプロセスウェーハを並列に処理でき、スループットを最大化できます。チャンバは角度で接続されているため、ウェーハ表面に沿ってより良いプロセスの均一性が得られます。各チャンバの反応ゾーンは互いに分離されており、各チャンバの独立した温度制御と圧力分布を可能にします。この機能は、各チャンバのプロセス結果が独立して再現可能であることを保証するのに役立ちます。この原子炉には高温ゲートバルブとパージシステムが含まれており、装置の起動とシャットダウンの間に迅速なサイクリングが可能です。それは各反応室への精密なガス配達を保障する水晶インサートおよびガス多様体システムと来ます。インサートは乱流を低減し、沈着の一貫性と均一性を向上させるように設計されています。さらに、低圧制御バルブを装備し、柔軟な圧力制御とプロセス最適化を提供します。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequelは低熱質量設計を採用しており、各チャンバーでの迅速な熱応答と温度の均一性を確保します。これにより、反応時間を短縮し、沈着の一貫性を向上させることができます。自動化されたウェハハンドリングシステムにより、ウェハローディング、アンロード、ウェハトランスファーをチャンバー内から実行できます。ウェーハの取り扱いを室外に保つことで、粒子汚染の低減に貢献します。CONCEPT 2 Sequelは効率的で汎用性の高いシングルウェーハリアクターで、均一な温度制御と信頼性の高い蒸着結果を提供します。そのユニークな設計は、高効率のCVD処理に最適であり、生産性の最大化と運用コストの削減に役立ちます。
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