中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #293627310 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2続編は、単一のウェハ、回転電極、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）原子炉です。それは大量生産の信頼できる、均一なフィルムおよびコーティングを提供するように設計されています。この原子炉は、高度な相互接続、パッシベーション、誘電体などのアプリケーションに最適です。この原子炉は独自のDC強化技術を使用して、幅広い温度、圧力、RF周波数でECR、 ECD、スパッタリングプロセスを実行しながら、プロセスの安定性と均一性を確保します。その5軸モジュラーモジュールは、優れた均一性とプロセスウィンドウ制御を達成することができます。リアクターの革新的なプロセスチャンバーは、リモートRFカソードとRFウィンドウ制御システムを備えています。内部電極は窒素とアルゴンの両方の環境で蒸着プロセスを制御します。その低熱質量サスペンションアームは、蒸着中にウェーハ全体の均一性を調整するのに役立ちます。さらに、原子炉には、運転中のプロセスパラメータを監視するためのプロセスモニタおよび制御システム（PMCS）も含まれています。CONCEPT 2続編は300mmウェーハで最大8um/minの蒸着速度を実現し、総所有コストと高温の均一性を備えています。それは高度の誘電体、絶縁体、金属化および不動態化のプロセス条件を満たすように設計されています。この原子炉は、SiO2およびアモルファスカーボンフィルムだけでなく、窒化タンタルおよび窒化ケイ素フィルムを実行することができます。この原子炉はまた、3ゾーンの均一な温度と均一なRF分布など、多くのモジュラーソリューションを提供しています。これにより、優れた均一性と生産性の向上を実現し、トータルな運用コストを削減できます。さらに、原子炉には高性能ガスインジェクタを内蔵し、前駆体の配送を容易にするだけでなく、温度検出用の安全インターロックおよび/またはバックエンドのピロメーターを設定することができます。全体として、NOVELLUS CONCEPT 2 Sequelは、高品質のフィルムとコーティングの生産を費用対効果の高い方法で支援する高度で信頼性の高いPECVD炉です。それは安全で、速いプロセスを保障している間均一性および生産性を保証します。