中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #9362147 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Expressは、集積回路製品の製造用に特別に設計された革新的な化学蒸着（CVD）炉です。CONCEPT 2 Sequel Expressは、半導体製造技術の最新技術を活用し、超小型機能サイズのウェーハを処理するための費用対効果の高い高性能CVDプラットフォームを提供します。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Expressは、2分以内に最大10個のウェーハを迅速に交換できる、大きな「X-Y」モーションレンジを備えたリムーバブル基板ホルダーを備えています。これにより、基板の処理時間が短縮され、揮発性の高い製品の完全性が維持されます。基板ホルダーはリムーバブルインサートを備えており、基板固有のアライメントを可能にし、完全なフィルムの均一性と接着性を保証します。また、リアクターはインテリジェントソフトウェアを統合して、最適化された処理条件を迅速かつ簡単に確立することができます。CONCEPT 2 Sequel Expressは、強力なマルチチャネルガス噴射バルブを配列し、ガス比とガスの流れを正確に制御する高性能プロセスモジュールを備えています。プロセスモジュールには、ガスフローを管理し、望ましくない残留物が検出された場合に自動的に抗反応を注入するためのAvotec® NOX®コンピュータ制御プロセスシーケンサーも含まれています。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Expressには、高品質のプロセスを保証するために設計されたパルスヒートタワー装置（PHTS）と現場のクリーニングシステムが装備されています。PHTSは、高精度で幅広い温度を提供するように設計されており、処理を改善することができます。このシステムには、ポリシリコンフィルムの最適な成膜のためにウエハ温度を正確に制御できるオンモジュールクーラントユニットも含まれています。CONCEPT 2 Sequel Expressは、人員と環境を保護するために設計された強化された安全機能も備えています。このマシンには、有害ガスの蓄積によるチャンバー内の爆発のリスクを効果的に排除する特許取得済みの低圧爆発ポテンシャル装置（EPD）が含まれています。また、壊滅的な障害が発生した場合の人員を保護するために、完全に自動化された緊急シャットダウンツールも含まれています。全体として、NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Expressリアクターは強力なCVDアセットであり、超小型フィーチャーサイズウエハの大量生産のための信頼性が高く、費用対効果の高い蒸着プロセスを提供するために設計されています。このモデルの高度な機能とインテリジェントソフトウェアは、パフォーマンスと安全性を向上させ、製造業務の生産性を最大化するのに役立ちます。