中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #9259415 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Expressは半導体産業のために設計された原子炉です。これは、低温ポリシリコン、窒化ケイ素、酸化ケイ素、タングステン、アルミニウム/銅、誘電体などの特殊プロセスを含む熱化学蒸着（CVD）プロセスが可能な自己完結チャンバーを備えたコンパクトなシングルウェハプロセスツールです。CONCEPT 2 Sequel Expressは、制御された環境でのプロセス能力を最適化するために設計されており、信頼性の高い運用と均一性、高い生産スループットを提供します。また、高速サイクルタイムに最適化されており、1分間に最大8つのウェーハ径を実行できます。このツールは、一般的には2 Torr程度の比較的低い全室圧力で動作し、使い捨て可能なオールセラミック基板キャリアで設計されており、従来の石英サセプタキャリアで一般的に発生する処理および洗浄の問題を排除します。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Expressは、フロントエンドとバックエンドのモジュールを簡単に構成できるため、柔軟性を高めます。ハードウェア面では、静電チャックを採用し、ウェーハ温度の均一性と精密な制御を実現しています。これは温度、位置、真空、およびプロセスガスの制御装置によって補完されます。追加のコンポーネントには、ポンピングシステム、プロセスチャンバー、プロセスガスシステム、プロセスベッセル、プロセス熱源、加熱排気、およびロードロックが含まれます。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express CVDチャンバーの高度な設計は、プロセスの結果を最適化し、汚染を低減し、スループットを最大化するように設計されています。また、プロセスガス漏れのアクティブ検出ユニットやアノード用のデュアル絶縁パッケージなど、プロセスの安全性を高める機能を備えています。CONCEPT 2 Sequel Expressは、優れた均一性と一貫性、信頼性と再現性の高い処理を提供する高度に構成可能なマシンです。シンプルな設計により、簡単な操作とメンテナンスが可能ですが、特定のジョブ用にモジュールを構成する機能は、さまざまなアプリケーションに柔軟性を提供します。これらの機能はすべて、NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Expressを半導体業界のCVD処理に最適なツールにします。