中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #9256798 を販売中
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販売された
ID: 9256798
ウェーハサイズ: 8"
System, 8"
Process type: PEOX
(2) Chambers
LCD Monitor, 12.1"
Signal tower type: Front Mount
DLCM:
P166/64M Module controller
Cassette transfer: Shuttle type
TM Robot: Magnatran 7 003-1600-25
Indexer robot: Indexer type II
Motor type: Belt
Animatics: CDP2407-2
Arc bar: 26 Slots
Cassette mapping: Auto mapping
MKS 750B11TCE2GK 10 Torr Manometer
GRANVILLE PHILLIPS 275 Mini convectron
TYLAN ACX3200 Throttle valve controller
Slit valve type: Loadlock VAT/CH SMC
IOC: 27-10157-00 Ver4.1
CVD1:
ADVANCED ENERGY MN3150274-004 B RF Match network
View port left/Right
RF Distribution
Gas distribution
Mix bowl type: Not heated
(6) Shower heads
Heater block
Process chamber ring
MESC Flange
MKS 627A13TBC Manometer, 1000 Torr
MKS 627A11TBC Manometer, 10 Torr
UE PV48W-14 Switch, vacuum, atmosphere
UE E48W-H14 Switch, vacuum, 15 Torr
End point detector VM3200 Integrated dual wavelength EPD
(3) IOC: 27-10157-00 Ver 4.1
Controller, throttle valve
Interlock PCB, CVD 02-123072-00 Rev A
P166/64M Module controller
Water flow switch
Gate valve, Hi vac, 4"
Throttle valve
Spindle mechanism Ferrofluidic bellows type
Process chamber 4-line type: Vertical
Process chamber exhaust type: Vertical
EUROTHERM Temperature controller
Hastings gauge
ADVANCED ENERGY PDX 1400, P/N 27-028379-00 F/R C RF Generator
ADVANCED ENERGY RFG 5500, P/N 27-115617-00 F/R A Generator rack
CVD2:
ADVANCED ENERGY MN3150274-004 B RF Match network
View port left/Right
RF Distribution
Gas distribution
Mixbowl type: Temperature setting
(6) Shower heads
Heater block
Process chamber ring
MESC Flange
MKS 627A13TBC Manometer, 1000 Torr
MKS 627A11TBC Manometer, 10 Torr
UE PV48W-14 Switch, vacuum, atmosphere
UE E48W-H14 Switch, vacuum, 15 Torr
End point detector VM3200 Integrated dual wavelength EPD
(3) IOC: 27-10157-00 Ver 4.1
Controller, throttle valve
Interlock PCB, CVD 02-123072-00 Rev A
P166/64M Module controller
Water flow switch
Gate valve, Hi vac, 4"
Throttle valve
Spindle mechanism Ferrofluidic bellows type
Process chamber 4-line type: Vertical
Process chamber exhaust type: Vertical
EUROTHERM Temperature controller
Hastings gauge
ADVANCED ENERGY PDX 1400, P/N 27-028379-00 F/R C RF Generator
ADVANCED ENERGY RFG 5500, P/N 27-115617-00 F/R A Generator rack
CVD1 / CVD2:
MFC (AERA):
SiH4 / FC-7800CD, 1 SLM
N2 / FC-7800CD, 5 SLM
He / FC-7800CD, 10 SLM
NH3 / FC-7800CD, 10 SLM
O2 / FC-7800CD, 20 SLM
C2F6 / FC-7800CD, 5 SLM
N2O / FC-7800CD, 20 SLM
N2 / FC-7800CD, 10 SLM
SSD:
MSSD 01-132945-00 with UPS
Power:
208 VAC, 3 Phase, 5 wires, 50 Hz, 1000 kV
208 VAC (CVCF), Single phase, UPS 50 Hz, 20 A.
NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Expressは、誘電体、バリア、および金属膜の蒸着に最適なプロセス柔軟性と最大稼働時間を提供するように設計された先進の蒸着炉です。非常に効率的な設計により、ウェーハのスループットを大幅に向上させることができます。この原子炉は、費用対効果の高いプロセスの柔軟性と優れた制御を確保するために特別に設計された様々な管状原子炉を利用しています。高速パルス、サイクルタイムの短縮、ウェーハ全体の成膜と均一性を正確に管理する機能など、高度な機能を備えています。リアクターには、4つの個別にプログラム可能なフラックス領域に1つの連続チューブに分割された管状加工チャンバーがあります。これにより、単一のサイクルで複数のフィルムを堆積させたり、異なるフラックス領域で異なるレイヤーを処理することができます。チャンバーは、真空から圧力までの圧力、および室温から500°Cまでの温度をサポートすることができます。また、水平方向と垂直方向の両方でウェーハ処理が可能です。この原子炉には高度なクローズドループ・プロセス制御装置があり、蒸着速度、層均一性、蒸着速度プロファイルを管理するための正確なプロセス管理を提供します。フィードバックやフィードフォワード制御などのアルゴリズムが含まれており、これらのすべての側面が処理中に正確に調整されることを保証します。システムはまた、リモート監視とプロセスの制御を可能にします。CONCEPT 2 Sequel Expressは、低コストの所有と高度な安全機能を備えています。また、潜在的な安全上のリスクを最小限に抑えながら、生産性を最大化するように設計されています。これは、自己保護ユニットだけでなく、エラー防止と制限機能が装備されており、常にマシンの安全な動作を保証します。最後に、この原子炉は、短いサイクルで費用対効果の高いフィルム蒸着ソリューションを提供するように設計されています。多種多様な材料をサポートし、ツールセットを自動的に変更することができ、非常に構成可能で汎用性の高いツールとなっています。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Expressは、高度な制御と安全性、高いウェーハスループット、および費用対効果を備え、さまざまな蒸着アプリケーションに最適です。
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