中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #9235840 を販売中
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NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Expressは、半導体製造用に設計された化学機械的、高生産性、低コストの原子層成膜(ALD)原子炉です。CONCEPT 2 Sequel Expressは、高性能で高度な集積回路デバイスの製造に成功しました。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Expressは、低コスト、高速、フルウェーハプロセス開発および生産設備です。このシステムは、1時間あたり最大150個のウェーハを処理できるため、多種多様なメモリデバイスやロジックデバイスに適しています。3ゾーンのリアクタ構成により、ウェーハ表面全体の均一性が保証されます。また、高速、非常に低い熱誘発ストレス、低圧フィルム蒸着機を備えています。CONCEPT 2 Sequel Express Reactorには、他のALD Reactorシステムと比較していくつかの利点があります。優れた設計により、スループットの高速化、均一性の向上、コストの削減を実現します。その2段階の蒸着ツールはまた、優れたプロセス制御を可能にするため、有益です。また、ダウンタイムを最小限に抑え、生産歩留まりを最大化するように設計されており、非常に信頼性が高く費用対効果が高い。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Expressは、プロセス効率も向上します。2段階の低圧蒸着プロセスにより、表面の均一性、均質性、film_thickness制御が向上します。また、二次ウェーハ回転モータを使用することで、蒸着速度を高速化し、より信頼性の高い蒸着速度を提供します。結論として、CONCEPT 2 Sequel Expressは、優れた生産速度、優れたプロセス制御と均一性、低コスト、最小のダウンタイムを提供する先進的なALD炉であり、高性能デバイスと集積回路生産をお探しのお客様に最適です。
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