中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Dual Express #9361977 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2続編Dual Expressは、集積回路の製造に使用される大規模な化学蒸着（CVD）炉の一種です。この原子炉はデュアルチャンバー設計であり、二酸化ケイ素（SiO2）などの複数の材料を1つのプロセスで堆積させることができます。コンセプト2の続発炉は、チップメーカーが集積回路を構築するための効率的で費用対効果の高い手段を提供するように設計されています。この原子炉は、プロセスチャンバーとリロードチャンバーの2つのチャンバーで構成されています。プロセスチャンバーは、材料の層の実際の堆積が行われる場所です。リロードチャンバーには堆積工具と材料が収納されています。チャンバーは一連のパイプとバルブで接続されており、プロセスチャンバへの材料の移動を可能にします。各チャンバーには、温度、圧力、およびガス流量センサとコントローラの独自のセットが装備されています。CONCEPT 2 Sequelデュアルエクスプレス炉は、2つの蒸着ステップを同時に実行する「デュアルエクスプレス」モードで動作するように設計されています。これにより、2層の材料を一度に堆積させることができ、製造工程の大幅な短縮と効率化が可能になります。また、異なる成膜チャンバを切り替えることなく、結晶配向などの特性の異なる材料の成膜を可能にします。この原子炉には、高度な温度と均一性を制御する300mmのトーチ加熱システムが搭載されており、炉の温度を正確に制御できます。また、先進的なガス供給システムと粒子状ろ過とトラッピングを利用しています。これらの機能は、信頼性と再現性の高いCVDプロセスを提供するために組み合わされます。この原子炉は、トランジスタゲート酸化物、パッシベーション層、および接触層などの集積回路の製造に使用するために設計されています。コンセプト2続炉は、研究および製造の両方の設定で動作するように設計されており、高性能の集積回路に対する需要の高まりに信頼性の高いソリューションを提供することができます。その高度な機能により、原子炉は従来の蒸着プロセスよりも費用対効果の高い品質保証された高性能デバイスを製造する能力を提供します。