中古 NOVELLUS Concept 2 Dual Speed #9259411 を販売中

NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Reactorは、2つの独立したパルスプラズマレベルを利用して、精密なエッチング選択性を維持しながら、より高いエッチング速度を実現する高度なリアクティブイオンエッチング（RIE）ツールです。これは、単一の機器でエッチングと蒸着の両方のプロセスを実行することができます。このデュアルパルスプラズマ源とエッチング/蒸着チャンバ技術の組み合わせにより、Concept 2は、正確なプロセス制御と優れた結果を持つ誘電体と金属の両方の層を効果的にエッチングすることができます。Concept 2は、デュアルスピード、デュアル周波数、およびデュアルパルス高密度プラズマ源を備えた産業用グレードのRIEツールです。これにより、化学反応、イオンニュートラル率の制御、パワーチューニング、プロセスガスの変調が可能になります。そのデュアルパルスプラズマ源は、単電荷と乗算電荷の両方の種を生成することができ、誘電体と金属の正確なエッチングを可能にします。Concept 2は、任意の波形とパルス幅を備えた柔軟なプロセス制御も提供します。Concept 2のRIE技術は、1つのシステムで様々な材料を高精度にエッチングすることも可能です。それは効率的にフィルム厚さの均一性を制御するためにハードウェアを統合しました、エッチング平滑化、およびパターンプロファイル制御。コンセプト2はまた、再現性のあるエッチング率を保証し、さまざまなプロセスチャンバーを備えており、汚染を防ぐために不動態化された原子炉を利用しています。これは、エッチングプロセスの再現性を確保するためにレシピパラメータをロードする必要があります。Concept 2のRIE技術は、1台で様々な素材をエッチングし、大規模生産を可能にします。広いプロセスウィンドウを備えており、絶縁層や金属層のエッチングを精密に制御できます。マシンのコースウェハローディングと高スループット機能により、大量生産に最適です。さらに、Concept 2は非常に効率的でエネルギー効率が高く、クローズドサイクルクーラーを使用して工具の消費電力を削減します。これはそれをあらゆる工程のための大きい選択にします。