中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Speed #9096020 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Speedは、NOVELLUS Systemsによって開発された高性能ガス駆動型リアクターで、さまざまな産業用半導体製造要件Inc.to満たしています。この原子炉は、1つの連続システムで大量のウエハ製品を処理し、2つの速度の動作を提供するように設計されています。デュアルスピードバージョンには、長時間の低圧プロセスと短時間の高圧プロセスの両方を実行できる2つのチャンバが含まれています。この2速セットアップにより、ウェーハ処理のスループットと柔軟性を最大限に引き出すことができます。高効率のガスフラックス加工技術を採用しており、ガス負荷の少ない超低室圧を実現しています。クローズドループガスシステムは、プロセス関連のガス消費量と運用コストを削減するように設計されています。この原子炉には高度な低温システムが装備されており、ウェーハ温度に対する高精度制御を維持するのに役立ちます。デュアルスピードには、リアクター環境を最適化し、正確なプロセス制御を保証するための統合フロー制御も含まれています。原子炉設計はモジュラーアーキテクチャに基づいている。チャンバの最大サイズは22ins x 14insで、合計8チャンバであり、最小スペースを利用しながら効率的なウェーハ処理が可能です。各チャンバーは、最大16個の4インチウェーハまたは8個の6インチウェーハを保持して製造能力を向上させることができます。各チャンバーには専用の温度制御と精密なガス供給が装備されており、最適なプロセス制御が可能です。CONCEPT 2 Dual Speed Reactorは、シームレスなウェハハンドリングのための統合ロボティクスも備えています。ロボットアームは直感的なユーザーインターフェイスでプログラムされており、簡単な操作と高速なウェーハ転送時間を可能にします。ロボットアームは集中型のストレージエリアを備えており、最大48個のウェーハをサイクルごとに同時に処理できます。全体として、NOVELLUS CONCEPT 2デュアルスピードリアクターは、産業用半導体製造要件を満たすように設計された強力で先進的なガス駆動システムです。2速度動作、効率的なスペース管理、洗練された温度制御、精密なガス供給、直感的なユーザーインターフェース、および統合されたロボティクスにより、この原子炉は厳格なウェーハ処理要件を満たすことができます。