中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Speed #293777790 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Speedは、電子デバイス製造に使用されるさまざまな材料を効率的に製造するために設計されたハイエンドの化学蒸着炉です。新しいデュアルスピード装置を備えており、非常に高い均一性を維持しながら毎分1500アングストロームまでの蒸着速度を可能にします。それはさまざまな金属、合金、半導体および絶縁体、また高度の酸化物の薄膜そしてコーティングを作成するのに使用することができます。この原子炉はステンレス製で、直径300mmまでのウエハを処理するための大きなシングルチャンバーを備えています。当社独自の低圧、低質量流量、化学蒸気分配システムを採用し、6ガスソース能力と可変流量を有し、材料や蒸着条件に柔軟に対応します。また、Pulsed Laser Ablation （PLA） CVDプロセスも備えており、高品質の材料の非常に薄い膜を非常に高速で堆積することができます。さらに、ユニットは従来のガス反応プロセスと組み合わせて使用することができ、多くのPECVDおよびDCAPプロセスと互換性があり、製造可能なフィルムの種類に柔軟性を提供します。CONCEPT 2デュアルスピードリアクターには、最大6つのウェハと最大6つの異なるレシピを処理できる統合ウエハハンドリングマシンが含まれています。その高度なプログラミングにより、柔軟性が向上し、幅広いプロセスパラメータを設定することができます。また、緊急停止および排出監視資産を含む高度な安全ツールを備えています。NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Speedは、最先端のエッジフィルム生産プロセス用に設計されたアップスケールの原子炉です。その高性能と高度な安全機能は、信頼性の高いフィルムやコーティング製品を作成しようとしている任意のラボや生産施設のための理想的なオプションになります。