中古 NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel #9314381 を販売中

NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Serceel（別名C2DSS）は半導体処理のために設計された原子炉です。独自のデュアルスピードアーキテクチャを使用して、特に非常に困難な材料で優れたプロセス制御を提供します。C2DSSは、高効率、マルチゾーン、数値制御化学反応装置であり、正確な温度制御、プロセス制御、スケーラビリティを可能にします。このシステムは、すべての反応パラメータの高度なベクトル制御監視も備えています。C2DSSはデュアルスピードアーキテクチャを備えているため、アプリケーションに応じて2つの異なるプロセス速度を変更できます。これにより、プロセス制御を犠牲にすることなく、より高いスループットを実現できます。これは、複雑な物理的特徴と材料特性を正確に制御する必要があるアプリケーションに役立ちます。また、温度監視と制御、自動圧力調整、および省エネのための動的電力制御を備えています。C2DSSは、成膜プロセスの広い範囲のために設計されており、シリコン、シリサイド、および多層材料を含む様々な材料を処理することができます。その洗練された設計はまた優秀な均等性および閉鎖ループプロセス制御を可能にします。さらに、プロセスインターロック、自動シャットダウン、振動モニタなどの安全機能が内蔵されています。C2DSSの高度な温度制御は、最適な均質性と均一性を維持しながら、最大1000˚Cの非常に高い温度に達することができます。これにより、気相エッチング、ドライエッチング、CVDエピタキシーなどの熱処理が可能になります。また、運転中の反応安定性と安全性を最大化する高度なガス再循環アセットも備えています。C2DSSは操作が簡単で、さまざまなアプリケーションのニーズに合わせて素早く再構成できます。また、幅広いアクセサリーが付属しており、さまざまなコンピュータ支援プロセス制御（CPC）ソフトウェアパッケージと互換性があります。このモデルは汎用性が高く、技術開発、プロセス最適化、プロセス統合、生産に使用できます。全体として、Concept 2 Dual Speed Sequel （C2DSS）は、半導体処理のために特別に設計された強力で汎用性の高い原子炉です。デュアルスピードアーキテクチャ、高度な温度制御、さまざまな材料の効率的な取り扱いにより、さまざまなアプリケーションに対応する信頼性の高い正確なソリューションです。