中古 NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel #9237572 を販売中

NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Serceelは、さまざまな製品で高品質のコーティングを生成するように設計された高度な物理蒸着（PVD）原子炉です。この原子炉には、高エネルギーイオンを生成するデュアル磁気閉じ込めアークが装備されており、堆積層の高速傾斜が可能です。また、2速の蒸着が特徴で、高蒸着と低蒸着を素早く切り替えることができます。このフレキシブルでエネルギー効率の高い原子炉は、医療・光学部品から自動車部品、半導体まで、さまざまな業界で使用できます。コンセプト2 デュアルスピードシーケルPVDリアクターは、基板の広い範囲を収容することができるチャンバーと電源を含むコントローラで構成されています。このチャンバーには、プラズマを適切に閉じ込めるためのガスポートが内蔵されています。複数の基板を同時に収容できるため、生産率が高い。2段階の充電式クライオポンプを使用しているため、真空運転が可能です。統合された抵抗ヒーターはさらに必要ならば基質の温度を高めることができます。NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel PVDリアクターの中心にはアークチャンバーがあります。それは二重壁のステンレス鋼の構造から成り、アーク部屋は複数の陽極が付いている2つのアークの電極が、それぞれ装備されています。イオン源も備えています。アークチャンバーは不活性ガスでバック充填されており、高速な傾斜と蒸着の正確な制御を可能にします。Concept 2 デュアルスピードシーケルPVDリアクターのコントローラはアークチャンバーに接続されており、2つのアーク電極ごとに個別の電源を備えています。それはまた手動でまたはコンピュータによって制御することができます。基板の種類や塗装特性に応じてパラメータを準備するなど、成膜プロセスを最適に制御できるソフトウェアが含まれています。NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel PVDリアクターは、非常に耐久性が高く、さまざまな規格に準拠した高品質のコーティングを製造する高度なPVDシステムです。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと柔軟な堆積能力により、この原子炉は精密なコーティングと精密な制御を必要とする様々な産業用途に最適です。