中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express #9299473 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express Reactorは、酸化物や窒化物などの材料の超薄層をさまざまな基板に堆積するために使用される化学蒸着（CVD）装置です。このデバイスには、2つの独立した続編処理チャンバが装備されており、それぞれに4つのデュアルEndurTMプロセスモジュールが含まれています。シークエルチャンバーは、ハイスループット処理用に設計されており、代替の化学蒸着システムと比較して、薄膜を驚くほど高速に堆積させることができます。Concept 2は高い汎用性を誇り、1つのバッチで複数の前駆体で最大200 × 200mmの基板を加工することができます。デュアルエンデュールプロセスモジュールは、均一な蒸着と流量制御を提供し、長い耐用年数と信頼性の高い動作を保証する革新的なダイヤモンドのようなコーティングを備えています。精密蒸着プロセスは非常に再現性が高く、基板の表面全体にわたって一貫した層の厚さを確保します。Concept 2にはモジュラー式のロードロックシステムも装備されており、素早く簡単に材料の積み下ろしが可能です。このユニットは低圧負荷ロックを備えているため、窒素源を追加する必要なく、真空と周囲圧力の間を材料が遷移することができます。ロードロックは、プレーンウェーハからフルフレームカセットまで、さまざまな基板ホルダーに対応するように設計されています。プロセス制御の観点から、Concept 2では、液晶タッチスクリーンユーザーインターフェイス、自動レシピエディタ、リアルタイム温度および圧力監視など、多くの先進技術を採用しています。このデバイスはまた、イーサネット接続を提供しており、ユーザーはコンピュータネットワークを介してリモートでマシンにアクセスして制御することができます。全体として、CONCEPT2デュアルシーケルエクスプレスリアクターは、さまざまな基板に薄膜を効率的かつ正確に堆積させるための理想的な選択肢です。このデバイスの高いスループットと優れたプロセス制御により、研究環境と生産環境の両方に適しており、信頼性の高い結果を提供しながら、コストを削減し、省エネルギーを実現します。