中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express #9281506 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express （DSX）リアクターは、高精度、再現性、制御を必要とするアプリケーション向けに特別に設計された専用のデュアルチャンバー、シングルウェーハ処理装置です。この設計は、独立してまたは同時に動作する絶縁蒸着および他の処理システムを備えた2つの異なるチャンバーを提供します。DSXリアクターは、すべてのプロセスツールの中で最高レベルのプロセス制御と精度を提供します。これは主に、ウェーハの動きとプロセスのステップを正確に制御する複数の独立したモーターコントローラを含む高度な材料管理およびプロセス制御技術によって達成されます。さらに、DSXは、サンプル摂動を最小限に抑えた45nm分解能のインウェーハ機能を検出することができ、高度な真空チャンバーコントローラは低圧条件をリアルタイムで正確に監視および維持することができます。DSXネットワークは、プロセスの均一性サイクルの数を最適化し、プロセスステップを制御するように設計されています。そのレシピ最適化機能は、ユーザーが実行時にレシピを変更して再最適化することができます。これにより、リアルタイムでプロセスパラメータを調整する際に、プロセスの均一性と一貫性を最大限に制御できます。DSXリアクターは、ウェットエッチング、ドライエッチング、化学/物理蒸着（CVD/PVD）などの複数のプロセスツールも提供しています。そのウェットエッチングシステムは、1つのポッドまたはタンクで最大10種類の化学物質を処理することができ、プロセスの最大歩留まりと均一性を可能にします。CVD/PVDモジュールは、高い材料蒸着率と精密な制御に最適で、デバイス構造を非常に均一にすることができます。DSXユニットは、ガスラインの検証、化学設備の設置と補充、および一般的な機械構成などの活動を含む定期的なメンテナンスが必要です。このプロセスの間に、技術者は次のステップに進む前にチャンバーとプロセスラインの完全性を確認するために特別な注意を払うべきです。オペレータの安全を確保するために、DSXは潜在的に危険な蒸気、火花、火災から保護し、ガスや粒子の存在を確認するためのオンボード監視ツールを備えています。要するに、CONCEPT 2 Dual Sequel Express （DSX）リアクターは、最高の制御で高精度で再現性のあるプロセスを提供するように設計された革新的なデュアルチャンバー、シングルウェーハ処理資産です。その高度なモーターおよび真空コントローラ、材料管理機能、レシピの最適化、およびプロセスツールは、オペレータに一貫した成功した処理を保証する強力で信頼性の高いプラットフォームを提供します。